[实用新型]单晶炉热屏取出装置有效

专利信息
申请号: 202020423755.3 申请日: 2020-03-27
公开(公告)号: CN212198431U 公开(公告)日: 2020-12-22
发明(设计)人: 闫龙;魏兴彤 申请(专利权)人: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
主分类号: B66F19/00 分类号: B66F19/00;B66F13/00;C30B15/00
代理公司: 宁夏合天律师事务所 64103 代理人: 孙彦虎
地址: 750021 宁夏回*** 国省代码: 宁夏;64
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摘要:
搜索关键词: 单晶炉热屏 取出 装置
【权利要求书】:

1.一种单晶炉热屏取出装置,以辅助操作人员取出热屏,热屏的上边缘处设置有吊爪,其特征在于:单晶炉热屏取出装置包括可拆卸连接的挂吊件及施力件;挂吊件包括吊杆、吊环,吊杆的一端与施力件连接,吊杆的另一端与吊环连接,吊环与吊爪相适配,以便于吊环与吊爪挂接,并通过施力件向上施力将热屏抬起取出。

2.如权利要求1所述的单晶炉热屏取出装置,其特征在于:所述施力件包括施力杆、连接杆,施力杆的中部与连接杆固定连接且两者互相垂直,连接杆与挂吊件可拆卸连接。

3.如权利要求2所述的单晶炉热屏取出装置,其特征在于:所述挂吊件还包括连接筒、固定套,连接筒套设在连接杆上,连接杆的长度大于连接筒的长度,以使连接杆的一端能够伸出连接筒,固定套套设在连接杆的此端,固定套与连接杆相适配,且固定套的外径不小于连接筒的外径,以防止连接筒脱离连接杆,吊杆的一端与连接筒的外壁活动连接,以通过连接筒与施力件连接,且使吊杆能够相对连接筒活动,进而便于吊环与吊爪挂接。

4.如权利要求3所述的单晶炉热屏取出装置,其特征在于:所述吊杆与吊环的数量相同,每一个吊杆上固定连接有一个吊环,吊环的数量与吊爪的数量相适配,以使每一个吊爪上都能够挂接一个吊环,每两个吊杆之间的距离及夹角分别与每两个吊爪之间的距离及夹角相适配,以便于吊环准确挂接到吊爪。

5.如权利要求4所述的单晶炉热屏取出装置,其特征在于:所述施力杆的两顶端为粗糙面,以便于操作人员手握施力杆的两顶端施力。

6.如权利要求4所述的单晶炉热屏取出装置,其特征在于:所述施力杆的两顶端设置有手柄,以便于操作人员手握手柄施力。

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