[实用新型]喷盘检测系统

说明书

本实用新型的复数喷盘分别以复数副管路并联于一主管路，该检测系统装设于该副管路及该主管路，该检测系统至少包含：泵浦、变频器、复数第一自动开关、压力表、第一流量计以及控制器，利用复数第一自动开关开启主管路与复数副管路的连通并输入液体，取得主管路的一标准流体压力值以及一标准流体流量值，以标准流体压力值与标准流体流量值的比值得到一标准阻力值，再利用复数第二自动开关仅开启其中一副管路与主管路的连通，而关闭其他副管路，取得主管路的一流体压力值以及一流体流量值，以两者的比值得到一阻力值，若阻力值高于该准阻力值，则判定其中一喷盘有阻塞现象。

技术领域

本实用新型有关一种以自动化方式检测喷盘是否发生堵塞异常现象的检测系统。

背景技术

一般电路板或晶圆制程中，例如电镀、蚀刻等湿制程时，可能会需要将各式溶液均匀地喷洒在被加工物上；现有技术的用于电路板制程的液体喷洒装置包含有一循环槽及复数喷盘；循环槽内存放有欲喷洒的液体，例如电镀液、蚀刻液、光阻液、清洁液等等；喷盘包含有复数喷嘴；喷盘与循环槽以单一管路连接，该管路上设有一泵浦，其用以将循环槽内的液体推动至喷盘上，该等液体之后再从喷盘的各喷嘴再朝循环槽内喷洒出来。

由于循环槽内进行湿制程，进行湿制程后所残留的污泥或残屑，会阻塞于喷嘴导致喷嘴内压力不正常，而发生制程异常。因此将会造成各喷盘效能不一，进而造成生产良率的下降。再者，因喷盘及管路设置于机台内，机台操作人员无法即时检视喷盘，因此亦无法有效确认喷盘的复数喷嘴是否发生阻塞，因此亦使得机台操作人员无法即时反应，无法对机台进行即时的维修处理。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型所解决的技术问题即在于提供一种以自动化方式检测喷盘是否发生堵塞异常现象的检测系统。

本实用新型所采用的技术手段如下所述。

本实用新型中复数喷盘分别以复数副管路并联于一主管路，该复数喷盘设有至少一喷嘴，该检测系统装设于该副管路及该主管路，其至少包含：一泵浦，连接该主管路，可提供液体经由该主管路、该复数副管路至该复数喷盘，由该喷嘴喷洒而出；一变频器，连接该泵浦，用以控制该泵浦的动作频率；复数第一自动开关，分别配置于该复数喷盘与该复数副管路之间；一压力表，配置于该主管路，用以取得一流体压力值；一第一流量计，配置于该主管路，用以取得一流体流量值；以及一控制器，分别与该复数第一自动开关、该压力表及该第一流量计连接，可控制该第一自动开关的开启或关闭，并接收该流体压力值以及该流体流量值，以判断该复数喷盘阻塞与否。

在一较佳态样中，进一步设有一检测管路以及一第二、第三自动开关，该第二自动开关配置于该主管路，该第三自动开关配置于该检测管路，该主管路及该第二自动开关与该检测管路及该第三自动开关并联连接于该泵浦与该复数副管路之间。

在一较佳态样中，进一步设有一第二流量计配置于该检测管路，该第二流量计与该控制器连接。

在一较佳态样中，该检测管路的管径小于该主管路的管径。

在一较佳态样中，复数喷盘配置于一循环槽体，该循环槽体内容置有液体，另有一循环管路连接于该循环槽体与该泵浦，该泵浦将该循环槽体内的该液体提供至该主管路。

在一较佳态样中，该循环管路上配置有一第四自动开关。

本实用新型所产生的技术效果：利用控制器来自动控制各自动开关的开启与关闭，并利用压力表及流量计所量测的值，做为检测喷盘的喷嘴是否阻塞的依据，达到自动化检测的目的。

附图说明

图1所示为本实用新型中检测系统第一实施例的结构示意图。

图2所示为本实用新型中检测系统第二实施例的结构示意图图。

图3所示为本实用新型中检测系统第二实施例的使用示意图。

图号说明：