[实用新型]一种气帘结构及晶圆移送装置有效
| 申请号： | 202020426782.6 | 申请日： | 2020-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN212190389U | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 权起大;朴大正;柳相元 | 申请（专利权）人： | 合肥欣奕华智能机器有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 王娜 |
| 地址： | 230013 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 结构 移送 装置 | ||
1.一种气帘结构，其特征在于，包括：环形框架、进气组件、排气组件和控制箱；
所述环形框架内侧环绕设置有多个与所述进气组件连通的喷嘴组，用于向穿过所述环形框架的工件喷射气体；
所述环形框架内侧环绕设置有凹槽，所述凹槽内设置有多个与所述排气组件连通的排气孔；
所述控制箱分别与所述进气组件和所述排气组件连接，用于控制所述喷嘴组和所述排气孔的过气量。
2.根据权利要求1所述的气帘结构，其特征在于，沿所述工件穿过所述环形框架的方向，所述凹槽位于所述喷嘴组前方。
3.根据权利要求1所述的气帘结构，其特征在于，所述环形框架为矩形，所述喷嘴组包括第一喷嘴组、第二喷嘴组、第三喷嘴组和第四喷嘴组，其中，所述第一喷嘴组和所述第二喷嘴组位于所述环形框架两个相对的侧边，所述第三喷嘴组和所述第四喷嘴组位于所述环形框架另外两个相对的侧边。
4.根据权利要求3所述的气帘结构，其特征在于，所述喷嘴组包括与所述进气组件连通的进气口及喷嘴，所述喷嘴具有平行于所述环形框架侧边的长条形喷气口。
5.根据权利要求3所述的气帘结构，其特征在于，所述排气孔包括第一排气孔组、第二排气孔组、第三排气孔组和第四排气孔组，其中，所述第一排气孔组和所述第二排气孔组位于所述环形框架两个相对的侧边，所述第三排气孔组和所述第四排气孔组位于所述环形框架另外两个相对的侧边。
6.根据权利要求1所述的气帘结构，其特征在于，所述进气组件包括气体加热器以及连通所述喷嘴组和所述气体加热器的进气管道。
7.根据权利要求6所述的气帘结构，其特征在于，所述进气组件还包括与所述进气管道连接的过滤器，所述过滤器位于所述气体加热器与所述喷嘴组之间。
8.根据权利要求6所述的气帘结构，其特征在于，所述进气管道包括并联设置的第一进气管道和第二进气管道，与所述第一进气管道连通的喷嘴组和与所述第二进气管道连通的喷嘴组相对。
9.根据权利要求1所述的气帘结构，其特征在于，所述排气组件包括与所述控制箱连接的排气泵以及连通所述排气孔和所述排气泵的排气管道。
10.根据权利要求1所述的气帘结构，其特征在于，所述控制箱包括供气部和流量调节部，所述供气部通过所述流量调节部与所述进气组件连接。
11.根据权利要求10所述的气帘结构，其特征在于，所述控制箱还包括与所述供气部连接的供气管道，所述供气管道上设有控制所述供气管道通断的阀门。
12.一种晶圆移送装置，其特征在于，包括如权利要求1-10任一项所述的气帘结构。
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