[实用新型]本地水洗式气体洗涤塔及其废水回收处理系统

说明书

本实用新型公开了一种本地水洗式气体洗涤塔及其废水回收处理系统，废水回收处理系统包括：多介质过滤器，所述多介质过滤器具有进水口和出水口；活性炭过滤器，所述活性炭过滤器的进水口与所述多介质过滤器的出水口连通；离子交换器，从所述活性炭过滤器排出的水进入所述离子交换器。多介质过滤器可以去除废水中的未沉淀呈悬浮状态的颗粒物。活性炭过滤器可以去除废水中含有的胶体、悬浮物等杂质。离子交换器能够进一步去除水中的各种污染物离子，满足回用水水质标准。经上述废水回收处理系统处理后的水满足回用水水质标准，可以回收至本地水洗式气体洗涤塔循环利用，实现了节能减排的目的。

技术领域

本实用新型涉及水处理技术领域，更具体地说，涉及一种本地水洗式气体洗涤塔及其废水回收处理系统。

背景技术

局部气体洗涤塔，是指半导体生产厂用于薄膜、扩散、蚀刻等半导体制程区域生产设备端就近进行废气处理的辅助机器。局部气体洗涤塔是半导体行业废气处理系统的重要组成部分，其主要作用是处理废气、蒸汽和悬浮颗粒物。

本地水洗式气体洗涤塔(Wet Local Scrubber)为局部气体洗涤塔的一种，主要用于处理可溶于水的腐蚀性气体。本地水洗式气体洗涤塔主要将制程设备操作时产生的副产物及未反应完全的反应气体经过循环泵供应的水冲洗，然后将可溶于水的气体或悬浮颗粒去除。本地水洗式气体洗涤塔的冲洗水的排水就称为气体洗涤塔废水。

本地水洗式气体洗涤塔的用水量占到半导体厂生产水用量的20％左右，现有技术中直接将本地水洗式气体洗涤塔产生的废水简单处理后排掉，不仅浪费水资源，而且本地水洗式气体洗涤塔产生的废水还会腐蚀管道。

综上所述，如何有效地减少水资源的浪费，是目前本领域技术人员急需解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的第一个目的在于提供一种废水回收处理系统，该废水回收处理系统的结构设计可以有效地减少水资源的浪费，本实用新型的第二个目的是提供一种包括上述废水回收处理系统的本地水洗式气体洗涤塔。

为了达到上述第一个目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种废水回收处理系统，包括：

多介质过滤器，所述多介质过滤器具有进水口和出水口；

活性炭过滤器，所述活性炭过滤器的进水口与所述多介质过滤器的出水口连通；

离子交换器，从所述活性炭过滤器排出的水进入所述离子交换器。

优选地，上述废水回收处理系统中，所述离子交换器为阳离子交换器或阴离子交换器。

优选地，上述废水回收处理系统中，所述离子交换器包括阳离子交换器和阴离子交换器，且所述阳离子交换器的出水口与阴离子交换器的进水口连通。

优选地，上述废水回收处理系统中，还包括串接在所述活性炭过滤器和离子交换器之间的中继水池，所述活性炭过滤器的出水口与所述中继水池的进水口连通，所述中继水池的出水口与所述离子交换器的进水口连通。

优选地，上述废水回收处理系统中，还包括第一反洗管路，所述第一反洗管路的进水口与所述中继水池的反洗出水口连通，所述第一反洗管路的出水口与所述多介质过滤器的反洗进水口和/或活性炭过滤器的反洗进水口连通。

优选地，上述废水回收处理系统中，还包括设置在所述多介质过滤器上游的换热器，所述换热器内设置有冷水通道和废水通道，所述换热器用于对进入所述多介质过滤器前的废水进行降温。

优选地，上述废水回收处理系统中，还包括用于检测所述换热器的废水通道出口的废水温度的温度检测器和用于调节所述冷水通道内流量的调节阀。

优选地，上述废水回收处理系统中，还包括设置在所述换热器上游的均和装置，所述均和装置中设置有曝气部件。