[实用新型]一种单晶炉快速冷却装置有效
申请号: | 202020437008.5 | 申请日: | 2020-03-31 |
公开(公告)号: | CN212476945U | 公开(公告)日: | 2021-02-05 |
发明(设计)人: | 宋波 | 申请(专利权)人: | 宋波 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 152000 *** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 快速 冷却 装置 | ||
本实用新型属于单晶炉辅助设备领域,尤其是一种单晶炉快速冷却装置,针对现有的单晶炉冷却用冷水机工作时会发生较大的震动,导致工作噪音较大,容易造成噪音污染,环保性较差;稳定性较差,容易在地面上发生晃动,实用性较差的问题,现提出如下方案,其包括支撑箱的顶壁的四角均开设有活动孔,活动孔的内部间隙配合有垂直的活动柱,四个活动柱的顶端固定连接有支撑板,支撑板的顶壁上安装有冷水机本体,支撑箱的外顶壁的四角分别与支撑板的底壁的四角连接有弹簧,本实用新型设计新颖,工作时发生的震动较小,工作噪音较小,可避免造成噪音污染,环保性优良,稳定性较高,不易在地面上发生晃动,实用性较高。
技术领域
本实用新型涉及单晶炉辅助设备技术领域,尤其涉及一种单晶炉快速冷却装置。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。使用单晶炉的过程中,需要通过冷水机对单晶炉进行冷却。
但是现有的单晶炉冷却用冷水机工作时会发生较大的震动,导致工作噪音较大,容易造成噪音污染,环保性较差;为了方便移动,冷水机的底部一般会安装万向轮,但是方便移动的同时,万向轮的安装也导致现有的单晶炉冷却用冷水机的稳定性较差,容易在地面上发生晃动,实用性较差,为此我们提出一种单晶炉快速冷却装置。
实用新型内容
本实用新型提出的一种单晶炉快速冷却装置,解决了现有的单晶炉冷却用冷水机工作时会发生较大的震动,导致工作噪音较大,容易造成噪音污染,环保性较差;为了方便移动,冷水机的底部一般会安装万向轮,但是方便移动的同时,万向轮的安装也导致现有的单晶炉冷却用冷水机的稳定性较差,容易在地面上发生晃动,实用性较差的问题。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种单晶炉快速冷却装置,包括支撑箱,所述支撑箱的顶壁的四角均开设有活动孔,所述活动孔的内部间隙配合有垂直的活动柱,四个所述活动柱的顶端固定连接有支撑板,所述支撑板的顶壁上安装有冷水机本体,所述支撑箱的外顶壁的四角分别与所述支撑板的底壁的四角连接有弹簧,所述支撑箱的两侧内侧壁上分别通过轴承转动连接有第一丝杆和水平的第二丝杆,所述第一丝杆与第二丝杆固定连接,所述支撑箱的内顶壁的两侧均滑动连接有垂直的传动板,两个所述传动板分别螺旋配合连接在所述第一丝杆的外圈和所述第二丝杆的外圈,所述支撑箱的底壁的两侧均开设有升降孔,所述升降孔的内部间隙配合有垂直的升降柱,所述升降柱的顶端延伸至支撑箱的内部且固定连接有水平的连接板,所述连接板的顶端铰接有呈倾斜设置的连接杆,两个所述连接杆的顶端分别铰接在两个所述传动板的底端,两个所述升降柱的底端延伸至支撑箱的下方且固定连接有水平的升降板,所述升降板的底壁上固定有压地板,位于两个传动板之间的所述第一丝杆的外圈固定套接有锥齿圈,所述支撑箱的内底壁上通过安装座安装有步进电机,步进电机的输出端固定连接有锥齿轮,锥齿轮与锥齿圈啮合连接,所述支撑箱的外底壁的四角均安装有万向轮。
优选的,所述压地板由橡胶材料制成,所述压地板的底壁上开设有多个防滑槽,所述压地板的底端高于所述万向轮的底端。
优选的,所述弹簧套设在所述活动柱的外圈,所述活动柱的底端延伸至支撑箱的内部且焊接有限位板。
优选的,所述支撑箱的内顶壁的两侧均沿长度方向开设有滑槽,滑槽内滑动设置有滑块,两个所述传动板分别固定在两个滑块的底端。
优选的,所述第一丝杆的螺纹方向与所述第二丝杆的螺纹方向相反。
优选的,两个所述连接杆底端的间距大于两个所述连接杆顶端的间距。
本实用新型的有益效果:
1、通过支撑箱、活动孔、活动柱、弹簧和支撑板的配合作用,可有效的减小单晶炉冷却用冷水机工作时发生的震动,有效的降低了工作噪音,可避免造成噪音污染,环保性优良。
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