[实用新型]一种离子源安装用辅助装置

权利要求书

1.一种离子源安装用辅助装置，包括抑制器箱（10）、排气管（11）、离子源本体（15）、离子源进管（16）；所述抑制器箱（10）的右侧壁中部向外连通有排气管（11），排气管（11）的中部一侧设置有用于将排气管（11）内部离子源本体（15）向后抽动的抽气筒（12），排气管（11）的左侧伸入到抑制器箱（10）的内部且上下侧设置有抑制器（14），抑制器（14）用于抑制排气管（11）内部的离子源本体（15），其特征在于，位于所述抑制器箱（10）内部的排气管（11）的左侧连通有呈筒状结构的离子源进管（16），离子源进管（16）的左侧穿过抑制器箱（10）的内部并且连通有离子源进口（21），离子源进口（21）对称开设有四组，位于离子源进口（21）右侧的离子源进管（16）的一段设置有折叠管道（22）进行连通，凹槽（23）的中部设置有一组横向的推拉杆（19），推拉杆（19）的左端固定安装有与凹槽（23）孔径大小相同的封板（20）。

2.根据权利要求1所述的一种离子源安装用辅助装置，其特征在于，封板（20）的右侧壁安装有一圈磁铁（24），与磁铁（24）磁性连接的凹槽（23）的内部也安装有磁铁（24）。

3.根据权利要求1或2所述的一种离子源安装用辅助装置，其特征在于，推拉杆（19）的右端固定安装有一组竖直的滑杆（18）,滑杆（18）的上下端横向的滑动连接在开设在抑制器箱（10）上下侧部的滑槽（17）中。

4.根据权利要求3所述的一种离子源安装用辅助装置，其特征在于，所述滑槽（17）的内部左右两侧对称滑动连接有两组挡板（25）。

5.根据权利要求4所述的一种离子源安装用辅助装置，其特征在于，挡板（25）的内侧弹性连接有弹簧（26）。