[实用新型]硅棒开方机有效
申请号: | 202020438637.X | 申请日: | 2020-03-30 |
公开(公告)号: | CN212498398U | 公开(公告)日: | 2021-02-09 |
发明(设计)人: | 潘雪明;李鑫;钱春军;曹奇峰;张峰;朱勤超;梁文;吴张琪;俞佳文 | 申请(专利权)人: | 天通日进精密技术有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00 |
代理公司: | 上海巅石知识产权代理事务所(普通合伙) 31309 | 代理人: | 张明;王再朝 |
地址: | 314400 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 开方 | ||
1.一种硅棒开方机,其特征在于,包括:
机座,具有硅棒加工平台;
硅棒承载装置,设于所述硅棒加工平台上,用于承载立式置放的待切割硅棒;以及
线切割装置,包括:切割架,设于所述机座;至少一线切割单元,活动设于所述切割架;其中,所述线切割单元包括:依序排列的多个切割轮,所述多个切割轮包括首切割轮、尾切割轮、以及位于所述首切割轮和尾切割轮之间的中间切割轮,每一个中间切割轮上开设有至少两个切割线槽;过渡轮,对应设于所述中间切割轮的旁侧;切割线,顺次缠绕于所述切割轮和过渡轮上以在任意相邻的两个切割轮上形成一个切割线锯,其中,任一个所述切割线锯对应于所述硅棒承载装置所承载的至少两个硅棒承载结构,且所述切割线在缠绕于所述中间切割轮时由所述中间切割轮上至少两个切割线槽中的第一切割线槽穿出并经由旁侧的所述过渡轮之后由所述中间切割轮上至少两个切割线槽中的第二切割线槽穿进,从而使得任意相邻两个切割线锯之间在第一方向上具有一切割偏移量,所述切割偏移量对应于所述第一切割线槽和所述第二切割线槽之间的间距。
2.根据权利要求1所述的硅棒开方机,其特征在于,所述硅棒承载装置包括:
硅棒承载台;
硅棒承载结构,设于所述硅棒承载台上,用于承载立式置放的待切割硅棒;所述硅棒承载结构具有用于驱动所述待切割硅棒转动的转动机构;
承载台转换机构,用于驱动所述硅棒承载台作转换运动以令所述硅棒承载台上的硅棒承载结构在装卸区和切割区之间转换。
3.根据权利要求2所述的硅棒开方机,其特征在于,相邻两个切割线锯所分别对应的硅棒承载结构之间在第一方向上具有一承载偏移量,所述承载偏移量对应于所述切割偏移量。
4.根据权利要求2所述的硅棒开方机,其特征在于,所述承载台转换机构包括:
转动轴,轴接于所述硅棒承载台;以及
转动驱动单元,用于驱动所述转动轴转动以带动所述硅棒承载台转动。
5.根据权利要求2所述的硅棒开方机,其特征在于,所述承载台转换机构包括:
平移导轨,铺设于一硅棒承载台上;
滑块,设于所述硅棒承载台的底部;以及
平移驱动单元,用于驱动所述硅棒承载台沿着所述平移导轨移动。
6.根据权利要求2所述的硅棒开方机,其特征在于,还包括邻设于所述硅棒加工平台的硅棒装卸装置。
7.根据权利要求1所述的硅棒开方机,其特征在于,在所述线切割装置中,所述切割架包括相对而设的两个支撑柱,在所述两个支撑柱的相对两侧设有升降导轨,所述至少一线切割单元安装于所述两个支撑柱之间跨设的安装梁上,所述安装梁通过升降驱动机构驱动沿着所述升降导轨相对所述至少两个支撑柱作升降移动。
8.根据权利要求7所述的硅棒开方机,其特征在于,还包括硅棒压紧装置,用于压紧于所述待切割硅棒的顶部。
9.根据权利要求8所述的硅棒开方机,其特征在于,所述硅棒压紧装置包括:
压紧支架,活动设于所述切割架;以及
压紧单元,设于所述压紧支架上。
10.根据权利要求9所述的硅棒开方机,其特征在于,所述硅棒压紧装置和所述至少一线切割单元共用同一升降导轨。
11.根据权利要求1所述的硅棒开方机,其特征在于,所述过渡轮的轮面与所述切割轮的轮面平行,所述过渡轮中的导线槽与所述切割轮中第一切割线槽在第一方向上的第一过渡偏移量等于所述过渡轮中的导线槽与所述切割轮中第二切割线槽在第一方向上的第二过渡偏移量。
12.根据权利要求1所述的硅棒开方机,其特征在于,所述过渡轮的轮面与所述切割轮的轮面平行,所述过渡轮中的导线槽与所述切割轮中第一切割线槽在第一方向上对齐,或者,所述过渡轮中的导线槽与所述切割轮中第二切割线槽在第一方向上对齐。
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