[实用新型]一种用于激光辅助放电EUV光源用的末级电极结构

权利要求书

1.一种用于激光辅助放电EUV光源用的末级电极结构，包括位于放电室的阳极、阴极与绝缘层，其特征在于，所述阳极的电极端采用圆锥形结构，所述阴极为圆柱体，其通过金属连接杆连有一个圆盘状的锡靶，所述阴极圆柱体的中心轴与所述放电室的中心轴同轴，所述锡靶的中心轴与所述放电室的中心轴平行，所述绝缘层套在所述阴极及锡靶上，与所述阳极电隔离；

所述阳极的电极端、放电室与锡靶均位于同一个水平面，激光通过聚焦系统照射在所述锡靶的侧面中央位置，产生预电离等离子体。

2.根据权利要求1所述的一种用于激光辅助放电EUV光源用的末级电极结构，其特征在于，所述圆锥形结构的电极端通过螺丝组件连接所述阳极上，所述螺丝组件为可调节深度的结构。

3.根据权利要求1或2所述的一种用于激光辅助放电EUV光源用的末级电极结构，其特征在于，所述圆锥形结构的电极端与所述锡靶侧面的中央位置打靶处的距离为3-5mm。

4.根据权利要求1所述的一种用于激光辅助放电EUV光源用的末级电极结构，其特征在于，所述阴极及锡靶上套有绝缘套，所述锡靶上的绝缘套呈半包围状，开口方向与所述阳极圆锥形结构的电极端相对。

5.根据权利要求4所述的一种用于激光辅助放电EUV光源用的末级电极结构，其特征在于，所述锡靶上的绝缘套呈60度的扇形开口，朝向所述阳极圆锥形结构的电极端。

6.根据权利要求1所述的一种用于激光辅助放电EUV光源用的末级电极结构，其特征在于，所述阳极接地，为放电室的外壳，其下方设置多个螺孔，其中一个螺孔用于支出所述圆锥形结构的电极端。

7.根据权利要求1所述的一种用于激光辅助放电EUV光源用的末级电极结构，其特征在于，所述放电室的中心轴与外部的探测系统相连接。