[实用新型]一种用于硬脆性薄片的旋蜡装置

说明书

本实用新型涉及硬脆性材料贴片设备的辅助设备领域，特别涉及一种用于硬脆性薄片的旋蜡装置。包括工作台组件，工作台组件包括工作台底座，工作台底座下端面中心处设有旋转接头，旋转接头与伺服电机相连接，旋转接头的顶端穿过工作台底座并设有吸盘座；升降气缸安装在工作台组件上，旋蜡罩罩设于吸盘座的外部并与升降气缸相连接，旋蜡罩升起后能防止在旋蜡过程中造成蜡液的飞溅；滴蜡移动气缸组件包括移动气缸和喷头；移动气缸安装在工作台底座上端面一侧，喷头安装与移动气缸气缸杆相连并设于吸盘座正上方，喷头的一端与定量泵相连接，另一端用于喷射蜡液。本实用新型滴蜡移动气缸采用无杆气缸，使得整个组件更为稳定也更为紧凑，行程更长。

技术领域

本实用新型是关于硬脆性材料贴片设备的辅助设备领域，特别涉及一种用于硬脆性薄片的旋蜡装置。

背景技术

硬脆性材料贴片设备在半导体行业应用非常广泛，其主要功能是将蜡液均匀地涂布在洁净的硬脆性薄片的一面，经过高温烘烤并将其贴在预热好的陶瓷盘上，经冷压盘冷却后再进行后续的抛光工作。而在硬脆性材料贴片设备中，硬脆性薄片的旋蜡是否均匀是贴片质量好坏的关键所在。

在现有技术的硬脆性薄片旋蜡过程中，由于定量泵的性能原因，常导致蜡液在泵出的过程中，自身就会产生一些气泡，对之后的旋蜡是不利的；而由于旋转接头的性能原因，则会导致硬脆性薄片在旋转的过程中不同心，很难将蜡液旋均匀，在旋蜡后的硬脆性薄片上的某一角度会突然“产生”一道很明显的蜡液痕迹，影响后续贴片的效果，经常在贴片时产生较大的气泡率，很难满足后续使用要求。因此如何减小气泡率和保证旋蜡的均匀性是一个急需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于克服现有技术中的不足，提供一种能够改善硬脆性薄片旋蜡均匀性的旋蜡装置。

为解决上述技术问题，本实用新型的解决方案是：

提供一种用于硬脆性薄片的旋蜡装置，包括工作台组件、旋蜡罩升降组件和滴蜡移动气缸组件；

工作台组件包括工作台底座，工作台底座底部四周设有多根支撑柱；工作台底座下端面中心处设有旋转接头，旋转接头通过联轴器与伺服电机相连接，旋转接头的顶端穿过工作台底座并设有吸盘座；旋蜡罩升降组件包括多组升降气缸和旋蜡罩；升降气缸安装在工作台组件上，旋蜡罩罩设于吸盘座的外部并与升降气缸相连接，旋蜡罩升起后能防止在旋蜡过程中造成蜡液的飞溅；滴蜡移动气缸组件包括移动气缸和喷头；移动气缸安装在工作台底座上端面一侧，喷头安装与移动气缸气缸杆相连并设于吸盘座正上方，喷头的一端与定量泵相连接，另一端用于喷射蜡液。

作为一种改进，吸盘座通过旋转接头在伺服电机的驱动下做高速旋转运动，利用离心力的作用将蜡液均匀地布满硬脆性薄片的表面。

作为一种改进，吸盘座的表面开有一凹槽，作为气路通道，且采用真空作用将硬脆性薄片吸附住。

作为一种改进，移动气缸为无杆气缸。

作为一种改进，此结构所采用的定量泵，工作时喷头在移动气缸的作用下移动到硬脆性薄片的中心位置，并向硬脆性薄片泵出一定量的蜡液，定量泵能避免蜡液中气泡的产生，进一步提高了旋蜡质量。

作为一种改进，工作台组件下方设有排液盒，硬脆性薄片在旋蜡后排出的废蜡液会流进排液盒内，防止蜡液污染环境，并可做到集中收集统一处理。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型滴蜡移动气缸采用无杆气缸，使得整个组件更为稳定也更为紧凑，行程更长；

2、本实用新型可满足对不同大小硬脆性薄片旋蜡的加工要求，适用于4寸及6寸的硬脆性薄片；

3、本实用新型采用的旋转接头和定量泵，极大地改善了硬脆性薄片旋蜡的效果，满足使用要求；

4、本实用新型结构简单，维护便捷、容易。