[实用新型]用于电子加速器的双窗引出窗装置及辐照加工装置有效
| 申请号： | 202020447583.3 | 申请日： | 2020-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN211959648U | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 张昌有;希尔盖·法捷耶夫;沃若别夫·迪尼斯;比特·卡恰洛夫;唐建科 | 申请（专利权）人： | 山西壹泰科电工设备有限公司 |
| 主分类号： | H05H7/00 | 分类号： | H05H7/00;G21K5/00 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 赵永辉 |
| 地址： | 030600 山西省晋中市山西*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 电子 加速器 引出 装置 辐照 加工 | ||
1.一种用于电子加速器的双窗引出窗装置，其特征在于，包括：
扫描引出窗，所述扫描引出窗沿平行于电子束扫描的方向上至少设置有两个引出窗。
2.根据权利要求1所述的用于电子加速器的双窗引出窗装置，其特征在于，所述扫描引出窗为方形法兰，所述引出窗沿所述法兰长度方向平行间隔设置。
3.根据权利要求2所述的用于电子加速器的双窗引出窗装置，其特征在于，还包括散热装置，每个所述引出窗上均连接一个所述散热装置。
4.根据权利要求3所述的用于电子加速器的双窗引出窗装置，其特征在于，所述散热装置包括风嘴和吹风筒，所述吹风筒的出风口通过所述风嘴与所述引出窗连通。
5.根据权利要求2所述的用于电子加速器的双窗引出窗装置，其特征在于，还包括冷却装置，所述冷却装置设置在所述法兰上。
6.根据权利要求5所述的用于电子加速器的双窗引出窗装置，其特征在于，所述冷却装置包括冷却水循环系统。
7.根据权利要求5所述的用于电子加速器的双窗引出窗装置，其特征在于，所述冷却装置包括冷却管，所述冷却管沿所述法兰的周向设置。
8.根据权利要求1所述的用于电子加速器的双窗引出窗装置，其特征在于，所述扫描引出窗包括窗体，所述窗体由微米级钛箔制成。
9.根据权利要求8所述的用于电子加速器的双窗引出窗装置，其特征在于，所述扫描引出窗还包括窗框，所述窗体安装于所述窗框。
10.一种辐照加工装置，其特征在于，包括盒体、扫描磁铁线圈以及如权利要求1-9任一项所述的用于电子加速器的双窗引出窗装置，所述扫描磁铁线圈设置于所述盒体的远离所述扫描引出窗的一端；进入所述盒体的电子束在所述扫描磁铁线圈的作用下呈面状向下自所述扫描引出窗引出。
11.根据权利要求10所述的辐照加工装置，其特征在于，所述扫描磁铁线圈包括高频扫描磁铁线圈和低频扫描磁铁线圈，所述高频扫描磁铁线圈较所述低频扫描磁铁线圈远离所述扫描引出窗。
12.根据权利要求10所述的辐照加工装置，其特征在于，还包括加速器和磁体线圈，所述磁体线圈设置于所述加速器的出口处，用于将由所述加速器的出口射出的带电粒子束通过所述扫描磁铁线圈后展开。
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