[实用新型]一种夹持多个基板的溅射夹具有效
| 申请号： | 202020464843.8 | 申请日： | 2020-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN211848125U | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 彭海 | 申请（专利权）人： | 无锡元核芯微电子有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人： | 刘刚 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 夹持 多个基板 溅射 夹具 | ||
1.一种夹持多个基板的溅射夹具，包括溅射炉(3)、基板主体(5)、腔体(6)和夹头(19)，其特征在于：所述溅射炉(3)内部的顶端均匀固定有靶材原子轰击装置(4)，所述溅射炉(3)的下方设置有腔体(6)，且腔体(6)的内部均匀固定有凹槽(1)，所述凹槽(1)的内部均设置有转杆(8)，且凹槽(1)的一端固定有第二电机(12)，所述第二电机(12)的输出端与转杆(8)连接，且转杆(8)的两端均套设有活动套(11)，所述活动套(11)的顶端固定有套筒(10)，且套筒(10)的内部均设置有伸缩杆(7)，所述伸缩杆(7)的顶端均横向穿过有转轴(20)，且伸缩杆(7)的一端固定有第一电机(9)，所述第一电机(9)的输出端与转轴(20)连接，且转轴(20)的输出端均固定有支座(18)，所述支座(18)内部的一端均设置有夹头(19)，且夹头(19)之间夹持有基板主体(5)。
2.根据权利要求1所述的一种夹持多个基板的溅射夹具，其特征在于：所述凹槽(1)下方的腔体(6)内部均固定有底座(13)，且底座(13)顶部的两端均通过弹簧柱(16)与凹槽(1)底部的两端固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种夹持多个基板的溅射夹具，其特征在于：所述靶材原子轰击装置(4)的底端均设置有溅射口(2)，且溅射口(2)均与基板主体(5)处于同一竖直线上。
4.根据权利要求1所述的一种夹持多个基板的溅射夹具，其特征在于：所述伸缩杆(7)的底部均匀设置有螺孔，所述套筒(10)上均设置有与螺孔相匹配的预留孔，预留孔与螺孔之间均通过固定螺栓连接。
5.根据权利要求2所述的一种夹持多个基板的溅射夹具，其特征在于：所述底座(13)顶部的中央位置处设置有复位弹簧(22)，且复位弹簧(22)的两端均固定有导向块(21)，所述导向块(21)与底座(13)两端的之间均设置有导向杆(15)，所述导向块(21)套在导向杆(15)上，所述凹槽(1)底部的两端均铰接有连杆(14)，且连杆(14)均与导向块(21)相铰接。
6.根据权利要求1所述的一种夹持多个基板的溅射夹具，其特征在于：所述支座(18)均呈“凹”型结构，且支座(18)内部的一侧均匀设置有缓冲弹簧(17)，所述缓冲弹簧(17)的一端均与夹头(19)固定连接。
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