[实用新型]绑头固晶装置有效
申请号: | 202020464949.8 | 申请日: | 2020-04-01 |
公开(公告)号: | CN211670174U | 公开(公告)日: | 2020-10-13 |
发明(设计)人: | 胡新荣 | 申请(专利权)人: | 深圳新益昌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L21/50 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 徐汉华 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 绑头固晶 装置 | ||
1.绑头固晶装置,包括机架、固晶绑头和用于驱动所述固晶绑头横向移动的横向移动机构,所述横向移动机构支撑于所述机架上,其特征在于:所述横向移动机构包括支撑于所述机架上的滑座、横向安装于所述滑座上的横向交叉导轨和用于驱动所述固晶绑头横向移动的横向直线电机,所述横向直线电机支撑于所述机架上,所述固晶绑头支撑于所述横向交叉导轨上。
2.如权利要求1所述的绑头固晶装置,其特征在于:所述横向移动机构还包括分别设于所述横向交叉导轨两侧的同步移动组件,各所述同步移动组件包括安装于所述滑座上的齿轮和分别与所述齿轮啮合的固定齿条和滑动齿条,所述固定齿条与所述滑动齿条均平行于所述横向交叉导轨,所述固定齿条与所述滑动齿条分别位于所述齿轮的两侧,所述固定齿条固定于所述滑座上,所述滑动齿条与所述横向交叉导轨相连。
3.如权利要求1-2任一项所述的绑头固晶装置,其特征在于:所述横向直线电机包括用于带动所述固晶绑头横向移动的横向动子板和驱动所述横向动子板横向移动的横向定子板,所述横向定子板支撑于所述机架上,所述横向动子板与所述固晶绑头相连。
4.如权利要求3所述的绑头固晶装置,其特征在于:所述绑头固晶装置还包括用于驱动所述固晶绑头升降驱动的升降移动机构,所述升降移动机构包括与所述横向交叉导轨相连的支座、竖向滑动安装于所述支座上的滑板和驱动所述滑板升降移动的升降直线电机,所述固晶绑头安装于所述滑板上,所述升降直线电机包括与所述滑板相连的竖向动子板和驱动所述竖向动子板升降移动的竖向定子板,所述竖向动子板横向滑动安装于所述竖向定子板中,所述竖向定子板与所述机架固定相连,所述横向动子板与所述支座固定相连。
5.如权利要求4所述的绑头固晶装置,其特征在于:所述升降移动机构还包括用于引导所述滑板升降的竖向交叉导轨,所述竖向交叉导轨竖向设置于所述支座上,所述滑板支撑于所述竖向交叉导轨上。
6.如权利要求4所述的绑头固晶装置,其特征在于:所述升降移动机构还包括用于向上拉动所述滑板的弹性件,所述弹性件的一端与所述滑板相连,所述弹性件的另一端与所述支座相连。
7.如权利要求1-2任一项所述的绑头固晶装置,其特征在于:所述绑头固晶装置还包括驱动所述固晶绑头纵向移动的纵向移动机构,所述纵向移动机构安装于所述机架上,所述滑座支撑于所述纵向移动机构上。
8.如权利要求7所述的绑头固晶装置,其特征在于:所述纵向移动机构包括安装于所述机架上的固定座、支撑所述滑座的滑块、滑动支撑所述滑块的直线导轨和驱动所述滑座纵向移动的纵向直线电机,所述纵向直线电机安装于所述固定座上,所述直线导轨纵向设于所述固定座上。
9.如权利要求1-2任一项所述的绑头固晶装置,其特征在于:所述固晶绑头包括吸嘴组件、支撑所述吸嘴组件的支撑座、驱动所述支撑座升降的升降驱动器、支撑所述支撑座的升降交叉导轨、支撑所述升降交叉导轨的支架和用于驱动所述吸嘴组件转动以调节所述吸嘴组件角度的校正组件,所述升降驱动器安装于所述支架上,所述校正组件安装于所述支架上,所述吸嘴组件转动安装于所述支撑座上,所述支架支撑于所述横向交叉导轨上。
10.如权利要求9所述的绑头固晶装置,其特征在于:所述校正组件包括与所述吸嘴组件相连的从动轮、安装于所述支架上的调节电机、安装于所述调节电机上的主动轮和连接所述从动轮与所述主动轮的传动带。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造