[实用新型]一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统

权利要求书

1.一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，其特征在于：包括两套相互连通的洗涤吸收装置（1）；每一套洗涤吸收装置（1）包括相互连通的洗涤器（2）和氟吸收塔（3），前一洗涤吸收装置（1）的氟吸收塔（3）连通后一洗涤吸收装置（1）的洗涤器（2），前一洗涤吸收装置（1）的洗涤器（2）的进气口与含氟尾气进气管（7）连通，后一洗涤吸收装置（1）的氟吸收塔（3）的出气口与净化尾气出气管（8）连通；所述洗涤器（2）和氟吸收塔（3）均设置有洗涤液循环回路，通过洗涤器（2）的洗涤液循环回路将洗涤液从洗涤器（2）底部的出液口回流至洗涤器（2）侧壁的进液口，通过氟吸收塔（3）的洗涤液循环回路将洗涤液从氟吸收塔（3）底部的出液口回流至氟吸收塔（3）侧壁的进液口；前一洗涤吸收装置（1）中洗涤器（2）的洗涤液循环回路上连接成品氟硅酸出液管（23）用于排出成品氟硅酸，后一洗涤吸收装置（1）中氟吸收塔（3）的洗涤液循环回路上设置有第一洗涤液补液管（51）用于外界向系统内输入洗涤液；两洗涤吸收装置（1）之间以及每一洗涤吸收装置（1）的洗涤器（2）与氟吸收塔（3）之间均通过补液管网相互连通进行洗涤液补液。

2.如权利要求1所述的一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，其特征在于：所述洗涤器（2）的洗涤液循环回路包括依次连通的洗涤器大气腿（21）、循环泵进液管（41）﹑循环泵（4）和洗涤器进液管（22）；循环泵（4）的进口通过循环泵进液管（41）﹑洗涤器大气腿（21）与洗涤器（2）底部的出液口连通，出口通过洗涤器进液管（22）与洗涤器（2）侧壁喷淋装置（25）的进液口连通；所述氟吸收塔（3）的洗涤液循环回路包括依次连通的氟吸收塔大气腿（31）、第一循环槽（33）﹑循环泵进液管（41）﹑循环泵（4）﹑氟吸收塔进液管（32）和洗涤液分布器（34）；第一循环槽（33）顶部的进液口通过氟吸收塔大气腿（31）与氟吸收塔（3）底部的出液口连通，循环泵（4）的进口通过循环泵进液管（41）与第一循环槽（33）底部的出液口连通，出口通过氟吸收塔进液管（32）和洗涤液分布器（34）与氟吸收塔（3）侧壁喷淋装置（25）的进液口连通。

3.如权利要求2所述的一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，其特征在于：所述洗涤器（2）为管式洗涤器（26）或文丘里洗涤器（27）或鼓式洗涤器组件（28）中的一种。

4.如权利要求3所述的一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，其特征在于：所述鼓式洗涤器组件（28）包括至少1个相互串联的鼓式洗涤器（281）。

5.如权利要求4所述的一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，其特征在于：所述前一洗涤吸收装置（1）中的第一循环槽（33）安装有搅拌装置（15）。

6.如权利要求5所述的一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，其特征在于：所述洗涤器（2）的洗涤液循环回路上还设置有第二循环槽（24），第二循环槽（24）顶部的进液口与洗涤器大气腿（21）连通，底部的出液口与循环泵进液管（41）连通；前一洗涤吸收装置（1）中的第二循环槽（24）安装有搅拌装置（15）。

7.如权利要求5所述的一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，其特征在于：所述第一洗涤液补液管（51）与后一洗涤吸收装置（1）中的第一循环槽（33）连通输入洗涤液；后一洗涤吸收装置（1）中的洗涤器进液管（22）上外接有第二洗涤液补液管（52），第二洗涤液补液管（52）与前一洗涤吸收装置（1）中的第一循环槽（33）连通；两套洗涤吸收装置（1）中的氟吸收塔进液管（32）上均外接有第三洗涤液补液管（53），第三洗涤液补液管（53）与洗涤器大气腿（21）连通。

8.如权利要求6所述的一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，其特征在于：所述第一洗涤液补液管（51）与后一洗涤吸收装置（1）中的第一循环槽（33）连通输入洗涤液；后一洗涤吸收装置（1）中的第二循环槽（24）通过第四洗涤液补液管（54）与前一洗涤吸收装置（1）中的第一循环槽（33）连通；同一洗涤吸收装置（1）内的第一循环槽（33）和第二循环槽（24）之间通过第五洗涤液补液管（55）相互连通。