[实用新型]一种高精度低形变的锗窗抛光上盘装置

权利要求书

1.一种高精度低形变的锗窗抛光上盘装置，其特征在于，包括粘接模、粘接剂、定位环及定位座；所述粘接剂为圆环结构，粘接于所述粘接模的一端面；所述定位环的周边具有翻边，中部开设有与粘接模形状相应的中心孔；所述定位座的表面设置限位环，所述限位环的形状与定位环的翻边形状相应，且与中心孔同轴；待抛光锗窗置于所述限位环内，所述定位环扣接于限位环的外部，所述粘接模具有粘接剂的一端依次穿过中心孔及限位环，通过所述粘接剂与锗窗固定。

2.根据权利要求1所述的一种高精度低形变的锗窗抛光上盘装置，其特征在于，所述粘接剂的圆环中心线直径d由待抛光锗窗的直径决定，并满足关系式：d＝kD，k为经验系数，取值范围0.4-0.5，D为锗窗的直径；所述粘接剂的圆环宽度w由待抛光锗窗的直径决定，锗窗的直径Φ≤100mm时，w＝20±3mm，100mm＜锗窗的直径Φ≤200mm时，w＝30±5mm；所述粘接剂的厚度t的范围为10±5mm。

3.根据权利要求2所述的一种高精度低形变的锗窗抛光上盘装置，其特征在于，所述粘接剂为圆环形状，置于粘接模圆周但不超出粘接模边缘。

4.根据权利要求3所述的一种高精度低形变的锗窗抛光上盘装置，其特征在于，所述粘接剂的圆环截面为梯形，与所述粘接模接触的为梯形下边，与所述锗窗接触的为梯形上边。

5.根据权利要求4所述的一种高精度低形变的锗窗抛光上盘装置，其特征在于，所述定位座为圆形并与限位环同轴，所述定位环的翻边高度大于限位环的高度，所述定位环的翻边高度、限位环的高度均大于锗窗的厚度。

6.根据权利要求5所述的一种高精度低形变的锗窗抛光上盘装置，其特征在于，所述限位环开设多个开口，多个所述开口呈圆形阵列排布于限位环，通过所述开口放置和取出锗窗。

7.根据权利要求6所述的一种高精度低形变的锗窗抛光上盘装置，其特征在于，所述限位环内放置锗窗的底面铺垫一层软质材料，所述软质材料为绵纸或抛光布，用于避免锗窗在放置或取出时和金属夹具碰撞崩边。

8.根据权利要求7所述的一种高精度低形变的锗窗抛光上盘装置，其特征在于，所述定位环的中心孔直径大于粘接模直径1-2mm。