[实用新型]一种内置喷码组件的靶材溅射镀膜设备

权利要求书

1.一种内置喷码组件的靶材溅射镀膜设备，其特征在于：包括一个密闭舱体(1)，所述密闭舱体(1)两侧外壁分别焊接有第一密封门(24)和第二密封门(23)，所述密闭舱体(1)顶部内壁分别焊接有两个喷码组件(14)，所述密闭舱体(1)两侧外壁分别设有开口，所述密闭舱体(1)两侧外壁开口处焊接有传送装置，所述传送装置分别设置于密闭舱体(1)内部和两侧，所述传送装置顶部外壁分别焊接有两个基座(4)。

2.根据权利要求1所述的内置喷码组件的靶材溅射镀膜设备，其特征在于：所述喷码组件(14)包括保护壳(21)、顶盖(2)、永磁铁(19)、支撑板(18)、靶材(17)、靶材固定柱(20)和喷码头(15)，所述保护壳(21)的顶部外壁焊接于密闭舱体(1)的顶部内壁上，所述顶盖(2)通过合页固定于保护壳(21)的顶部内壁，所述支撑板(18)通过螺丝固定于保护壳(21)两侧内壁，所述永磁铁(19)通过螺纹固定于支撑板(18)顶部外壁，所述靶材固定柱(20)为中空结构，所述靶材固定柱(20)底部外壁焊接于保护壳(21)底部内壁，所述靶材(17)通过螺纹固定于靶材固定柱(20)顶部外壁，所述喷码头(15)通过螺纹固定于靶材固定柱(20)底部外壁。

3.根据权利要求1所述的内置喷码组件的靶材溅射镀膜设备，其特征在于：所述传送装置包括第一支撑架(16)、第二支撑架(6)、第三支撑架(25)、六个转动电机(5)、三个传送带(11)和过渡感应板(22)，所述第二支撑架(6)底部通过螺丝固定于密闭舱体(1)底部内壁，六个所述转动电机(5)分别通过螺丝固定于第一支撑架(16)的顶部侧壁、第二支撑架(6)的顶部侧壁和第三支撑架(25)的顶部侧壁，所述三个传送带(11)分别套接于六个转动电机(5)的输出轴上，所述过渡感应板(22)焊接于第二支撑架(6)顶部外壁。

4.根据权利要求1所述的内置喷码组件的靶材溅射镀膜设备，其特征在于：所述密闭舱体(1)一侧外壁通过卡槽和密封条固定有钢化玻璃(12)。

5.根据权利要求4所述的内置喷码组件的靶材溅射镀膜设备，其特征在于：所述密闭舱体(1)顶部内壁通过螺丝固定有照明灯(13)。

6.根据权利要求3所述的内置喷码组件的靶材溅射镀膜设备，其特征在于：所述密闭舱体(1)相对两侧外壁开口处分别焊接有第一过渡仓(3)和第二过渡仓(10)。

7.根据权利要求6所述的内置喷码组件的靶材溅射镀膜设备，其特征在于：所述密闭舱体(1)一侧外壁焊接有气泵(9)，所述气泵(9)一侧外壁通过螺丝固定有指示灯(8)，所述密闭舱体(1)一侧外壁通过螺丝固定有压力表(7)。