[实用新型]一种用于透镜缺陷检测的双倍率双远心光学系统

权利要求书

1.一种用于透镜缺陷检测的双倍率双远心光学系统，其特征在于：它包括物镜前组（1）、分光棱镜（2）和两组物镜后组；入射光线由物镜前组（1）聚焦，再经分光棱镜（2）折转后，得到两组独立光路，其中一路光线经第一物镜后组（3）成像于第一垂直像面（5），得到0.13的倍率，另一路光线经第二物镜后组（4）成像于第二垂直像面（6），得到0.25的倍率；沿光线入射方向，物镜前组（1）的光学元件依次为前组第一片球面正透镜（11）和前组第二片球面正透镜（12），两片透镜的焦距相对于系统焦距的归一化值依次对应为f’₁₁和f’₁₂，满足条件0.3≤f’₁₁≤0.4、0.1≤f’₁₂≤0.2；所述的第一物镜后组（3）的光学元件依次为第一后组的第一片球面负透镜（31）、第一后组的光阑（32）、第一后组的球面正透镜（33）、第一后组的第二片球面负透镜（34）、第一后组的球面弯月正透镜（35）、第一后组的球面双凸正透镜（36）、第一后组的非球面弯月正透镜（37），各透镜的焦距相对于系统焦距的归一化值依次对应为f’₃₁、f’₃₃、f’₃₄、f’₃₅、f’₃₆和f’₃₇，满足条件 -0.16≤f’₃₁≤-0.12、0.009≤f’₃₃≤0.013、-0.006≤f’₃₄≤-0.005、0.04≤f’₃₅≤0.05、0.011≤f’₃₆≤0.014、-5.5≤f’₃₇≤-5.1；所述第二物镜后组（4）的光学元件依次为第二后组的球面负透镜（41）、第二后组的光阑（42）、第二后组的球面弯月正透镜（43）、第二后组的球面双凸正透镜（44）、第二后组的非球面弯月透镜（45），各透镜的焦距相对于系统焦距的归一化值依次对应为f’₄₁、f’₄₃、f’₄₄、f’₄₅，满足条件110≤f’₄₁≤140、-2.5≤f’₄₃≤-2.2、0.3≤f’₄₄≤0.5、-2.1≤f’₄₅≤-2。

2.根据权利要求1所述的一种用于透镜缺陷检测的双倍率双远心光学系统，其特征在于：光路的物方远心度小于等于5度，像方远心度小于0.03度。

3.根据权利要求1所述的一种用于透镜缺陷检测的双倍率双远心光学系统，其特征在于：它的工作距离为90mm。

4.根据权利要求1所述的一种用于透镜缺陷检测的双倍率双远心光学系统，其特征在于：它的视场范围为0mm～40mm。