[实用新型]用于单晶炉配件的去毛刺装置

说明书

本实用新型公开了一种用于单晶炉配件的去毛刺装置，包括机架、设于机架上的防滑垫、设于防滑垫上方的去毛刺机构、用于驱动去毛刺机构上下动作的驱压驱动件及用于驱动去毛刺机构转动的去毛刺驱动件，去毛刺机构包括设于防滑垫上方的内桶、设于内桶边缘处的多个腔室、设于腔室内的转轴及用于驱动转轴在腔室内转动的驱转结构，多个腔室沿内桶圆周方向等间距设置且与外界相连通，转轴上设有粗磨部件和精磨部件，粗磨部件和精磨部件分别对称设于转轴两侧。本实用新型中的去毛刺机构可在石英坩埚内实现粗磨和精磨工序的切换，无需将石英坩埚分别搬运至两个设备进行去毛刺，降低了人工成本，同时提高了去毛刺的效率。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉加工技术领域，尤其涉及用于单晶炉配件的去毛刺装置。

背景技术

众所周知石英坩埚，具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，应用越来越广泛。尤其是生产单晶硅的单晶炉中的重要部件。石英坩埚的去毛刺工作是一个十分重要的环节，石英坩埚在其毛刺的工序中需要先后进行粗磨和精磨两道工序，在两道工序的转换过程总需要涉及石英坩埚的搬运，使用起来不够方便，且极大的浪费了去毛刺的时间。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有技术中存在的上述问题，提供了一种有助于提高去毛刺效率的用于单晶炉配件的去毛刺装置。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：用于单晶炉配件的去毛刺装置，包括机架、设于机架上的防滑垫、设于防滑垫上方的去毛刺机构、用于驱动去毛刺机构上下动作的驱压驱动件及用于驱动去毛刺机构转动的去毛刺驱动件，去毛刺机构包括设于防滑垫上方的内桶、设于内桶边缘处的多个腔室、设于腔室内的转轴及用于驱动转轴在腔室内转动的驱转结构，多个腔室沿内桶圆周方向等间距设置且与外界相连通，转轴上设有粗磨部件和精磨部件，粗磨部件和精磨部件分别对称设于转轴两侧。

本实用新型的工作原理：将需要去毛刺的石英坩埚放置于防滑垫上，驱压驱动件启动驱使内桶向下动作进入石英坩埚内，去毛刺驱动件启动驱使内桶在石英坩埚内转动，内桶在石英坩埚内转动的同时，转轴上的粗磨部件对相对石英坩埚内壁发生摩擦以对石英坩埚内壁实现粗磨动作，粗磨结束后，驱转结构驱使转轴转动，随着转轴的转动，粗磨部件进入腔室内，精磨部件从腔室内伸出与石英坩埚内壁相接触，之后内桶在石英坩埚内转动的同时，转轴上的精磨部件相对石英坩埚内壁发生摩擦以对石英坩埚内壁实现精磨动作。

作为本实用新型的优选方案，粗磨部件包括设于转轴一侧的多个粗磨毛刷部，多个粗磨毛刷部沿转轴圆周方向等间距设置，精磨部件包括设于转轴另一侧的多个精磨毛刷部，多个精磨毛刷部沿转轴圆周方向等间距设置；粗磨毛刷部和精磨毛刷部具有较好的形变能力，可根据石英坩埚内部的弧度形变以保证与石英坩埚内壁的贴合效果，进而使得粗磨毛刷部和精磨毛刷部相对石英坩埚内壁发生滑动摩擦时，对石英坩埚内壁的去毛刺效果得到保证。

作为本实用新型的优选方案，驱转结构包括设于转轴顶部的从动齿轮、设于内桶内的驱转驱动件及固连于驱转驱动件输出轴端部的主动齿轮，主动齿轮分别与多个从动齿轮啮合传动；当驱转驱动件启动驱动主动齿轮转动时，与主动齿轮啮合传动的多个从动齿轮会随着主动齿轮的转动而同时发生转动，多个从动齿轮的转动角度均保持一致，从而使得控制转轴转动的角度得到保证，调节精细磨工序时更加准确。

作为本实用新型的优选方案，内桶内设有用于限制转轴转动的限转结构；限转结构可限制内桶在石英坩埚内转动时，由于毛刷部与石英坩埚内壁之间的摩擦力导致转轴与内桶发生相对转动，使粗精磨时的工序进行时较为稳定，保证去毛刺效果。