[实用新型]一种硅片分选机用检测装置

权利要求书

1.一种硅片分选机用检测装置，包括工作平台(1)，其特征在于：所述工作平台(1)中部按线性排列依次安装有前段动力输送带(2)、中段动力输送带(3)和后段动力输送带(4)，其中，前段动力输送带(2)和中段动力输送带(3)首尾衔接，中段动力输送带(3)和后段动力输送带(4)之间存在间隔；横架于前段动力输送带(2)上方安装有暗箱一(5)，位于中段动力输送带(3)和后段动力输送带(4)间隔内的工作平台(1)上安装有转盘机构(6)，位于转盘机构(6)侧边外部的工作平台(1)上安装有暗箱二(7)，暗箱二(7)的开口端朝上。

2.如权利要求1所述的一种硅片分选机用检测装置，其特征在于：所述暗箱一(5)和暗箱二(7)内均安装有相机，暗箱一(5)内的相机镜头朝下并正对着前段动力输送带(2)表面，暗箱二(7)内的相机镜头朝上并位于转盘机构(6)下方。

3.如权利要求1所述的一种硅片分选机用检测装置，其特征在于：所述转盘机构(6)上沿着周向均匀安装有四个吸盘(66)，一个吸盘(66)位于中段动力输送带(3)上方，第二个吸盘(66)位于暗箱二(7)上方，第三个吸盘(66)位于后段动力输送带(4)上方，位于第四个吸盘(66)下方的工作平台(1)上固装有废料盒(8)。

4.如权利要求1所述的一种硅片分选机用检测装置，其特征在于：所述转盘机构(6)的结构为：包括固装于工作平台(1)上的底座(61)，底座(61)上安装有中空旋转平台(63)，位于底座(61)侧边中空旋转平台(63)底面安装有电机(62)，电机(62)带动中空旋转平台(63)转动；所述中空旋转平台(63)上方安装有转盘(65)，转盘(65)底面的边缘处间隔均匀安装有吸盘(66)。

5.如权利要求4所述的一种硅片分选机用检测装置，其特征在于：所述转盘(65)中部开有中孔，位于中孔内的中空旋转平台(63)上安装有下支架(641)，转盘(65)中部横架于中孔上方安装有上支架(642)，所述上支架(642)和下支架(641)之间共同安装有气动旋转接头(64)，外部气路经气动旋转接头(64)后与吸盘(66)相接。

6.如权利要求4所述的一种硅片分选机用检测装置，其特征在于：所述转盘(65)的结构为：包括同心设置的外环(651)和内环(652)，外环(651)和内环(652)之间延伸有多个连接臂(653)，多个连接臂(653)沿着周向均匀布置，单个连接臂(653)与外环(651)相交处安装有吸盘(66)。

7.如权利要求1所述的一种硅片分选机用检测装置，其特征在于：所述暗箱一(5)底面的四个角处均安装有立柱一(51)，四个立柱一(51)底部与工作平台(1)固装，四个立柱一(51)顶面与暗箱一(5)固装，四个立柱一(51)分列于前段动力输送带(2)两侧。

8.如权利要求1所述的一种硅片分选机用检测装置，其特征在于：所述暗箱二(7)从下至上贯穿工作平台(1)，位于工作平台(1)上方的暗箱二(7)顶面四个角处均向外延伸有侧耳(72)，单个侧耳(72)底部与工作平台(1)之间均安装有立柱二(71)。