[实用新型]一种三维动态聚焦振镜装置

权利要求书

1.一种三维动态聚焦振镜装置，其特征在于：包括模块基板，基板上固定有电机法兰、精密导轨、航插安装座和振镜转接板，

所述精密导轨上安装有滑块，滑块安装有扩束镜安装座，扩束镜安装座中间设有通孔并且与振镜安装板、振镜转接板上的通孔水平对齐且大小相等，扩束镜安装座通孔后端安装第一压圈，第一压圈的后面安装扩束镜片，起到将光斑放大的作用，扩束镜片后面安装隔圈，隔圈的后面安装第二压圈；扩束镜安装座一侧设有与限位开关配合的开关挡片，开关挡片的前后位置设有限位开关；

所述扩束镜安装座设有一贯穿孔，该贯穿孔处安装一丝杆螺母，所述电机法兰上安装一精密电机，精密电机连接一精密丝杆，精密丝杆穿过丝杆螺母，且末端通过丝杆轴承固定于振镜转接板；

所述振镜转接板外侧固定一振镜安装板，振镜安装板固定一振镜机构。

2.根据权利要求1所述的一种三维动态聚焦振镜装置，其特征在于：所述精密导轨两端均设有防撞圈，防止滑块撞击其他零部件。

3.根据权利要求1所述的一种三维动态聚焦振镜装置，其特征在于：所述模块基板上方设有密封罩。

4.根据权利要求1所述的一种三维动态聚焦振镜装置，其特征在于：所述振镜机构包括底壳、上盖、X轴精密电机、X轴镜片、Y轴精密电机、Y轴镜片和镜头；所述X轴精密电机和Y轴精密电机固定在振镜机构内部；所述X轴精密电机上设有X轴镜片，X轴镜片中心位置与扩束镜安装座上的通孔、振镜安装板上的通孔的中心在同一条水平中心线上；所述Y轴精密电机设有Y轴镜片，Y轴镜片中心位置与X轴镜片中心位置在同一条水平中心线上；所述镜头安装于X轴镜片和Y轴镜片的轴线的中心位置下方，并固定于底壳底部。

5.根据权利要求1所述的一种三维动态聚焦振镜装置，其特征在于：所述模块基板、电机法兰、滑块、固定板、固定块、振镜安装板、振镜转接板、扩束镜安装座采用铝基复合材料切削加工而成。

6.根据权利要求1所述的一种三维动态聚焦振镜装置，其特征在于：所述航插安装座、开关挡片和密封罩和第二密封罩采用不锈钢板加工而成。

7.根据权利要求2所述的一种三维动态聚焦振镜装置，其特征在于：所述防撞圈采用橡胶材料加工而成。

8.根据权利要求1所述的一种三维动态聚焦振镜装置，其特征在于：所述扩束镜片、X轴镜片、Y轴镜片采用铝石英材质加工而成，并且镀有波长1064nm、10600nm、355nm、532nm。

9.根据权利要求1所述的一种三维动态聚焦振镜装置，其特征在于：所述精密电机采用上海通用扫描仪器公司的SGS6008。

10.根据权利要求1所述的一种三维动态聚焦振镜装置，其特征在于：所述精密导轨采用精密THK导轨。