[实用新型]晶片研磨加工装置有效

专利信息
申请号: 202020488870.9 申请日: 2020-04-03
公开(公告)号: CN211805515U 公开(公告)日: 2020-10-30
发明(设计)人: 山本明;高志坚;韩晓慿 申请(专利权)人: 捷姆富(浙江)光电有限公司
主分类号: B24B37/11 分类号: B24B37/11;B24B37/34;B24B47/12;B24B47/20;B24B55/06
代理公司: 杭州中利知识产权代理事务所(普通合伙) 33301 代理人: 卢海龙
地址: 314408 浙江省嘉兴市海*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 晶片 研磨 加工 装置
【权利要求书】:

1.晶片研磨加工装置,包括工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)的上方壁面设置有清洗箱(2),所述清洗箱(2)的上方壁面开设有有孔槽(3),所述清洗箱(2)的内部设置有压块(4),所述压块(4)的上方壁面开设有晶片槽(5),所述压块(4)的上方壁面开设有有出水槽(6),位于所述工作台(1)的内部的压块(4)的下方壁面固定安装有挡板(7),所述工作台(1)的上方壁面左右两端均设置有支撑杆(8),且支撑杆(8)总共有两组,两组所述支撑杆(8)的外圆处均固定安装有固定块(9),两组所述支撑杆(8)的外圆处固定安装有弹簧(10),两组所述支撑杆(8)的外圆处均活动连接有移动块(11),所述移动块(11)的前方壁面固定安装有固定箱(12),所述固定箱(12)的前方壁面固定安装有握块(13),所述固定箱(12)的上方壁面通过活动轴固定安装有转轴(14),所述转轴(14)的上端固定安装有电机(15),位于所述固定箱(12)下端的转轴(14)的下方壁面固定安装有挤块(16),所述挤块(16)的下方壁面设有孔槽二(17),所述孔槽二(17)总共有两组,两组所述孔槽二(17)的内部上方壁面均固定安装有弹簧二(18),两组所述弹簧二(18)的下端均固定安装有挡块二(19),两组所述挡块二(19)的下方壁面固定安装有收缩块(20),位于所述挤块(16)下方壁面的转轴(14)的下端通过活动轴固定安装有打磨头(21)。

2.根据权利要求1所述的晶片研磨加工装置,其特征在于:所述压块(4)贯穿所述孔槽(3)且一直延伸至所述工作台(1)的内部。

3.根据权利要求1所述的晶片研磨加工装置,其特征在于:四组所述出水槽(6)的下端均贯穿所述压块(4)的上方壁面且一直延伸至所述挡板(7)的下方壁面与工作台(1)的内部相通。

4.根据权利要求1所述的晶片研磨加工装置,其特征在于:两组所述弹簧(10)的下端与两组所述固定块(9)的上方壁面活动连接。

5.根据权利要求1所述的晶片研磨加工装置,其特征在于:所述转轴(14)贯穿所述固定箱(12)的上方壁面且一直延伸至所述固定箱(12)的下方壁面。

6.根据权利要求1所述的晶片研磨加工装置,其特征在于:位于所述固定箱(12)下端的转轴(14)的下方壁面贯穿所述挤块(16)的上方壁面且一直延伸至所述挤块(16)的下方壁面。

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