[实用新型]一种新型载片盘及镀膜装置有效
| 申请号： | 202020489442.8 | 申请日： | 2020-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN212451614U | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 方斌;陈被被;汪怀海;叶铎;李君杰;黄照明;蔡家豪;张家豪 | 申请（专利权）人： | 安徽三安光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 载片盘 镀膜 装置 | ||
1.一种新型载片盘，装载于镀膜装置上，用于放置晶片，包括载盘环和用于固定晶片的夹爪，所述夹爪周向分布在载盘环上，其特征在于：还包括镀膜遮盖机构，所述镀膜遮盖机构于镀膜时覆盖晶片和载盘环之间的空隙，防止镀膜材料穿过所述空隙覆盖于晶片的非镀膜面。
2.根据权利要求1所述的一种新型载片盘，其特征在于：所述镀膜遮盖机构包括多个旋转件、多个连接件和遮盖件，所述遮盖件通过连接件与旋转件连接，所述旋转件通过连接件驱动遮盖件在水平方向上移动。
3.根据权利要求2所述的一种新型载片盘，其特征在于：所述旋转件与连接件通过螺纹连接，转动所述旋转件带动连接件在水平位置运动，并推动遮盖件在水平方向上移动。
4.根据权利要求2所述的一种新型载片盘，其特征在于：所述遮盖件为金属件。
5.根据权利要求2所述的一种新型载片盘，其特征在于：所述遮盖件的宽度大于或等于晶片边缘与载盘环之间的距离。
6.根据权利要求2所述的一种新型载片盘，其特征在于：所述遮盖件为整体结构或者由多个子遮盖件组成。
7.根据权利要求6所述的一种新型载片盘，其特征在于：所述遮盖件为圆形结构，多个所述子遮盖件组成圆形结构，每个所述子遮盖件为弧形结构。
8.根据权利要求6所述的一种新型载片盘，其特征在于：所述子遮盖件的数量与连接件的数量和旋转件的数量均相同，每一所述子遮盖件均通过相对应的连接件与旋转件连接。
9.根据权利要求6所述的一种新型载片盘，其特征在于：所述子遮盖件的数量为2个以上。
10.根据权利要求6所述的一种新型载片盘，其特征在于：所述子遮盖件均匀地周向分布在载盘环上。
11.一种镀膜装置，其特征在于：包括权利要求1~10任意一项所述的一种新型载片盘。
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