[实用新型]一种扩散炉

说明书

本实用新型公开了一种改进的扩散炉，包括具有腔体的炉体，所述炉体具有相对的头部和尾部，所述头部设置有炉门，所述尾部上开设与所述腔体连通的通气口；所述扩散炉还包括气管，所述炉体的尾部上开设有供所述气管插入所述腔体的安装孔，所述气管插设于所述炉体中并伸至所述尾部外的第一端及位于所述腔体内的第二端，所述第二端伸至邻近所述炉门的位置；所述扩散炉还包括用于向所述腔体通入气体的进气管道及用于抽出所述腔体内的尾气的真空泵；所述进气管道和所述气管的第一端连接，所述真空泵和所述通气口连接。该扩散炉可以减少偏磷酸累积。

技术领域

本实用新型涉及一种扩散炉，特别是一种晶体硅太阳能电池制造用的扩散炉。

背景技术

扩散炉是晶体硅太阳能电池生产的主要核心设备，可用于磷扩散工序，尤其是从2011年开始逐步成熟的低压扩散炉，当前低压扩散炉设备占晶体硅光伏扩散设备的95%以上。这其中60%-70%以上的扩散炉采用的进气方式为炉尾进气、炉口出气，这种进气方式有以下缺陷：1、炉口位置容易累积偏磷酸等酸液，导致炉口位置被腐蚀，损坏石英管，并且保养周期短；2、尾气管与石英管交接处容易累积偏磷酸等酸液，腐蚀石英管及与尾管接触部位，导致石英管损坏；3、较多积液进入真空泵，导致真空泵膜片被腐蚀，导致真空泵容易损坏及维修。

实用新型内容

针对上述技术问题，本实用新型旨在提供一种改进的扩散炉。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：

一种扩散炉，包括具有腔体的炉体，所述炉体具有相对的头部和尾部，所述头部设置有炉门，所述尾部上开设与所述腔体连通的通气口；所述扩散炉还包括气管，所述炉体的尾部上开设有供所述气管插入所述腔体的安装孔，所述气管插设于所述炉体中并伸至所述尾部外的第一端及位于所述腔体内的第二端，所述第二端伸至邻近所述炉门的位置；所述扩散炉还包括用于向所述腔体通入气体的进气管道及用于抽出所述腔体内的尾气的真空泵；所述进气管道和所述气管的第一端连接，所述真空泵和所述通气口连接。

本实用新型中，“邻近炉门的位置”具体是指与炉门的间距小于炉体长度的1/10，优选小于1/50，更优选小于1/100。

在一实施例中，所述进气管道通过四氟球碗和所述气管的第一端连接；和/或，所述真空泵通过四氟球碗和所述通气口连接。

在一实施例中，所述进气管低于所述通气口且偏离所述通气口的正下方。

优选地，所述炉体整体呈圆柱形，所述通气口具有和所述炉体的中心线相重合的中心线，所述进气管偏离所述通气口的正下方的角度为45度。

在一实施例中，所述通气口的内径逐渐缩小。

在一实施例中，所述扩散炉还包括进气转接管，所述进气管道通过所述进气转接管和所述气管的第一端连接。

更优选地，所述进气管道和所述进气转接管的一端通过四氟球碗连接，所述进气转接管的另一端和所述气管的第一端通过四氟球碗连接。

在一实施例中，所述扩散炉还包括尾气转接管，所述通气口通过所述尾气转接管和所述真空泵连接。

更优选地，所述通气口和所述尾气转接管的一端通过四氟球碗连接，所述尾气转接管的另一端通过四氟球碗连接。

在一实施例中，所述扩散炉还包括用于放置太阳能电池的基片的石英舟，所述石英舟设置于所述腔体内并位于所述通气口和所述气管的第二端之间。

本实用新型采用以上方案，相比现有技术具有如下优点：