[实用新型]一种微小孔径测量装置

权利要求书

1.一种微小孔径测量装置，包括工作台面和图像采集模块，其特征在于：还包括设置在工作台面两端相对于所述工作台面可滑动的XY向运动模块和Z向升降模块，所述XY向运动模块上安装有运动平台，所述运动平台上安装有可旋转工件夹具，所述可旋转工件夹具包括固定于所述运动平台上的旋转台与驱动电机，所述旋转台上安装有夹具，所述夹具包括卡盘底座、活动卡爪以及卡爪驱动机构，所述卡盘底座通过联轴器与所述旋转台固定连接。

2.根据权利要求1所述的微小孔径测量装置，其特征在于：还包括安装于所述运动平台上的可旋转支架，所述可旋转支架上安装有辅助光源。

3.根据权利要求2所述的微小孔径测量装置，其特征在于：所述可旋转支架包括不锈钢底座、不锈钢支架和金属软管；所述不锈钢底座固定在所述运动平台上相对于旋转台的另一侧，所述不锈钢支架底部插入底座并固定；所述金属软管底端与不锈钢支架顶端连接固定，所述辅助光源安装于所述金属软管顶端。

4.根据权利要求1所述的微小孔径测量装置，其特征在于：所述XY向运动模块包括X、Y向运动导轨、第一伺服电机、第二伺服电机；所述X向运动导轨固定置于工作台面上，所述Y向运动导轨垂直安装在X向运动导轨上，所述运动平台固定安装于所述Y向运动导轨上；第一、第二伺服电机分别通过联轴器连接到X、Y向运动导轨。

5.根据权利要求1所述的微小孔径测量装置，其特征在于：所述Z向升降模块包括固定安装于所述工作台面上的升降台和安装于所述升降台上的升降导轨，所述图像采集模块通过连接件固定安装于所述升降导轨上。

6.根据权利要求5所述的微小孔径测量装置，其特征在于：所述图像采集模块包括工业相机、远心镜头以及光源。