[实用新型]一种适用于太阳能电池片镀膜设备的气体分流装置有效
申请号: | 202020491849.4 | 申请日: | 2020-04-07 |
公开(公告)号: | CN211743171U | 公开(公告)日: | 2020-10-23 |
发明(设计)人: | 王进财;潘彦荣;许江涛;张强 | 申请(专利权)人: | 国家电投集团西安太阳能电力有限公司;黄河水电西宁太阳能电力有限公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司;国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;C23C16/455 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 安曼 |
地址: | 710099 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 适用于 太阳能电池 镀膜 设备 气体 分流 装置 | ||
本实用新型的目的在于公开一种适用于太阳能电池片镀膜设备的气体分流装置,它包括气体分流管和通气固定管,所述通气固定管的一端垂直固定在所述气体分流管上且与所述气体分流管相连通,所述通气固定管的另一端与UM腔体的充气孔互相连接,所述气体分流管的两端封闭,在所述气体分流管斜上45度方向上设置有一排通气孔,且所述通气孔的方向朝向腔壁;与现有技术相比,能有效解决5*6石墨框在MAIA背面镀膜设备上运行时的UM腔掉片问题,降低生产过程的碎片以及返工,为生产企业节约成本,实现本实用新型的目的。
技术领域
本实用新型涉及一种适用于太阳能电池片的气体分流装置,特别涉及一种适用于太阳能电池片镀膜设备的气体分流装置。
背景技术
光伏发电是当前利用太阳能的主要方式之一,太阳能光伏发电因其清洁、安全、便利、高效等特点,已成为世界各国普遍关注和重点发展的新兴产业。因此,深入研究和利用太阳能资源,对缓解资源危机、改善生态环境具有十分重要的意义。
在太阳能电池制备工艺流程中,生产PERC电池时需要对硅片进行背面镀膜,目前MAIA背面镀膜设备原配使用石墨框为4*6规格,一框最多承载24片。
随着目前光伏行业的发展,对设备产能的需求也越来越大,以前的设备标配产能已不能满足现在的行业需求,需要对当前设备进行产能提升。因此出现5*6规格的石墨框,每框可以承载30片,单框循环时间不变,提高了设备产能,但是5*6规格的石墨框在现有的MAIA背面镀膜设备上运行时,UM腔有石墨框载片停留充气破真空时,充气气流会导致石墨框上的硅片抖动滑落至腔体内,造成大量碎片以及返工。
因此,特别需要一种适用于太阳能电池片镀膜设备的气体分流装置,以解决上述现有存在的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种适用于太阳能电池片镀膜设备的气体分流装置,针对现有技术的不足,有效地解决了5*6石墨框在MAIA背面镀膜设备上运行时的UM腔掉片问题,降低生产过程的碎片以及返工,为生产企业节约成本。
本实用新型所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现:
一种适用于太阳能电池片镀膜设备的气体分流装置,其特征在于,它包括气体分流管和通气固定管,所述通气固定管的一端垂直固定在所述气体分流管上且与所述气体分流管相连通,所述通气固定管的另一端与UM腔体的充气孔互相连接,所述气体分流管的两端封闭,在所述气体分流管斜上45度方向上设置有一排通气孔,且所述通气孔的方向朝向腔壁。
在本实用新型的一个实施例中,所述通气固定管为直径在10-16mm之间的不锈钢圆管。
在本实用新型的一个实施例中,所述通气固定管垂直焊接于所述气体分流管上,且所述通气固定管与所述气体分流管之间相通。
在本实用新型的一个实施例中,所述充气孔与所述通气固定管之间互相密封连通。
在本实用新型的一个实施例中,所述气体分流管为直径在16-20mm之间的不锈钢圆管。
在本实用新型的一个实施例中,所述通气孔的直径为2-3mm,所述通气孔之间的间距为60mm。
本实用新型的适用于太阳能电池片镀膜设备的气体分流装置,与现有技术相比,能有效解决5*6石墨框在MAIA背面镀膜设备上运行时的UM腔掉片问题,降低生产过程的碎片以及返工,为生产企业节约成本,实现本实用新型的目的。
本实用新型的特点可参阅本案图式及以下较好实施方式的详细说明而获得清楚地了解。
附图说明
图1为本实用新型的适用于太阳能电池片镀膜设备的气体分流装置的结构示意图;
图2为本实用新型的适用于太阳能电池片镀膜设备的气体分流装置在MA IA背面镀膜设备UM腔里面的安装示意图。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的