[实用新型]一种吊装智能清洁储存设备

权利要求书

1.一种吊装智能清洁储存设备，包括智能清洁库位(3)，其特征在于，总电控柜(1)通过桥架组件(2)设在智能清洁库位(3)上，所述总电控柜(1)通过智能清洁库位(3)悬挂在顶龙骨上，所述智能清洁库位(3)包括分电控制盒(4)、气控盒(6)以及智能清洁储存库位(8)，所述分电控制盒(4)包括分电控制盒配电模块(10)和集成电路板(11)，所述气控盒(6)主要包括面板压力计(12)、电气比例阀(13)和精密减压阀(14)。

2.根据权利要求1所述的一种吊装智能清洁储存设备，其特征在于，所述总电控柜(1)与所述分电控制盒(4)之间电连接，所述分电控制盒(4)内部通过集成电路板(11)与面板压力计(12)、电气比例阀(13)、两位两通电磁阀(20)、流量计(21)、微压传感器(23)和温湿传感器(24)电连接，所述流量计(21)与过滤器(22)连接，所述面板压力计(12)和电气比例阀(13)设在气控盒(6)内。

3.根据权利要求1所述的一种吊装智能清洁储存设备，其特征在于，所述气控盒(6)内设有精密减压阀(14)，所述精密减压阀(14)内设有将气分给库位分支管的面板压力计(12)和电气比例阀(13)，分支管与晶圆传送盒腔体之间设有电磁阀(20)、流量计(21)和过滤器(22)，所述智能清洁储存库位(8)上设有出气嘴(15)，所述出气嘴(15)气体流入外部过程中经过温湿传感器(24)和带有显示屏的微压传感器(23)。

4.根据权利要求1所述的一种吊装智能清洁储存设备，其特征在于，所述气控盒(6)与库位编码板(7)之间设有不锈钢管道(5)。

5.根据权利要求1所述的一种吊装智能清洁储存设备，其特征在于，所述智能清洁储存库位(8)上设有产品有无检测开关(16)、定位销(17)、反射光电板(18)和光电板(19)。

6.根据权利要求1所述的一种吊装智能清洁储存设备，其特征在于，所述智能清洁库位(3)和智能清洁储存库位(8)之间为钣金铝型材架(9)连接。