[实用新型]一种传感器组件有效
| 申请号： | 202020507283.X | 申请日： | 2020-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN212206116U | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 北京钛方科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01D5/24 | 分类号： | G01D5/24;G01L1/22 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 李蒙蒙;龙洪 |
| 地址： | 100085 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 传感器 组件 | ||
1.一种传感器组件，其特征在于，包括上层膜片、下层膜片、电容传感器和应变传感器，所述电容传感器和所述应变传感器设置在所述上层膜片和所述下层膜片之间。
2.根据权利要求1所述的传感器组件，其特征在于，所述应变传感器包括应变栅，所述应变栅的两端为凸出的引出端，所述电容传感器包括设置在两个所述引出端之间的电容极板。
3.根据权利要求2所述的传感器组件，其特征在于，所述电容传感器包括一个所述电容极板；或者
所述电容传感器包括两个电容极板，两个所述电容极板并排设置在两个所述引出端之间。
4.根据权利要求1所述的传感器组件，其特征在于，所述电容传感器包括U形的电容极板，所述应变传感器包括设置在所述电容极板内侧的应变栅。
5.根据权利要求4所述的传感器组件，其特征在于，所述电容传感器包括一个所述电容极板；或者
所述电容传感器包括两个所述电容极板，分别为第一电容极板和第二电容极板，所述应变栅设置于所述第一电容极板内侧，所述第一电容极板设置于所述第二电容极板内侧。
6.根据权利要求4所述的传感器组件，其特征在于，所述应变传感器包括四个所述应变栅，四个所述应变栅组成全桥。
7.根据权利要求6所述的传感器组件，其特征在于，四个所述应变栅中的两个分别朝向U形的所述电容极板的两个角部设置，另两个分别朝向U形的所述电容极板的两个端部设置。
8.根据权利要求1所述的传感器组件，其特征在于，所述应变传感器包括四个应变栅，四个所述应变栅组成全桥，所述电容传感器包括电容极板，所述电容极板设置在四个所述应变栅的内侧。
9.根据权利要求8所述的传感器组件，其特征在于，所述电容极板为矩形板，且所述矩形板的四个角分别朝向四个所述应变栅。
10.根据权利要求1-9中任一项所述的传感器组件，其特征在于，所述电容传感器的电容极板和所述应变传感器的应变栅采用同种应变金属材料制成。
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