[实用新型]一种LDI光源发生装置

说明书

本实用新型公开了一种LDI光源发生装置，包括发光源、椭球体聚光镜和光纤，所述发光源的中心位于所述椭球体聚光镜的第一焦点上；所述椭球体聚光镜的内表面为多层级的反射镜结构；所述光纤的入射端口设置在所述椭球体聚光镜的第二焦点上。本实用新型中的LDI光源发生装置，椭球体聚光镜可将发光源在第一焦点处的发出的光线聚集到第二焦点上，产生光束集中、发散角小、光功率密度高、含有复合波长并且高能量的光源，满足LDI曝光工序中对光源的要求，且制作成本低，结构简单，稳定性强。

技术领域

本实用新型涉及LDI光刻机技术领域，具体是一种LDI光源发生装置。

背景技术

LDI(laser direct imaging，激光直接成像技术)用于pcb工艺中的曝光工序，利用激光扫描的方法直接将图像在pcb上成像，使图像更精细，但LDI对光源的要求较高。目前曝光工序中常用的光源一般为半导体激光器或LED光源，但半导体激光器的价格昂贵，能量交底，波长单一；LED光源的光功率密度低，发散角大，因此该两种光源应用在LDI曝光工序中都存在缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种LDI光源发生装置，可获得含有复合波段并且高能量的光源，满足LDI曝光工序中对光源的要求。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种LDI光源发生装置，包括发光源、椭球体聚光镜和光纤，所述发光源的中心位于所述椭球体聚光镜的第一焦点上；所述椭球体聚光镜的内表面为多层级的反射镜结构；所述光纤的入射端口设置在所述椭球体聚光镜的第二焦点上。

在其中一个实施例中，所述椭球体聚光镜在上开设有相对的两个通孔，所述发光源插设在两个所述通孔内实现与所述椭球体聚光镜的固定连接。

在其中一个实施例中，所述发光源为高压短弧汞灯，所述发光源的两端从两个所述通孔穿过。

在其中一个实施例中，还包括光线整合器，所述光线整合器设置在所述光纤的入射端口与所述椭球体聚光镜之间，所述光线整合器的中心位于所述椭球体聚光镜的长轴上。

在其中一个实施例中，所述光线整合器为红外线滤器。

在其中一个实施例中，还包括冷却部件，所述光线整合器贯穿所述冷却部件。

在其中一个实施例中，所述冷却部件为一装有冷却水的容器。

在其中一个实施例中，所述椭球体聚光镜的内表面由若干个位于同一轴心的环状反射镜组成。

本实用新型中的LDI光源发生装置，椭球体聚光镜可将发光源在第一焦点处的发出的光线聚集到第二焦点上，产生光束集中、发散角小、光功率密度高、含有复合波长并且高能量的光源，满足LDI曝光工序中对光源的要求，且制作成本低，结构简单，稳定性强。

附图说明

图1为一个实施例中LDI光源发生装置的立体结构示意图；

图2为一个实施例中LDI光源发生装置的侧面结构示意图；

图3为图2中A-A的剖面图；

图4为图3中B-B的剖面图；

图5为一个实施例中LDI光源发生装置的光线路径图；

图6为一个实施例中LDI光源发生装置在应用时的结构示意图；

1、发光源；2、椭球体聚光镜；3、光纤；4、光线整合器；5、冷却部件；6、发光源中心点；7、光纤入射端口；8、光纤出射端口；9、发射光束；10、反射光束；11、出射光束；12、光源组；13、LDI机光刻头组。

具体实施方式