[实用新型]硅片花篮检测装置

权利要求书

1.一种硅片花篮检测装置，用于检测待检测硅片花篮的尺寸，其特征在于，所述硅片花篮检测装置包括至少两组检测组件、至少两组调节块和至少两组支撑杆；

至少两组所述支撑杆沿所述待检测硅片花篮的第一方向设置，至少两组所述检测组件与至少两组所述支撑杆活动连接，所述调节块设置在所述检测组件中，用于调整所述检测组件相对的两个侧边之间的距离，以检测所述待检测硅片花篮的第一方向的尺寸，两个所述侧边上均设置有齿纹，所述齿纹用于检测所述待检测硅片花篮上的挡齿。

2.根据权利要求1所述的硅片花篮检测装置，其特征在于，每组所述检测组件包括第一检测板和第二检测板，每组所述调节块包括至少一个调节块，至少两组所述调节块中每组所述调节块的尺寸与其他组所述调节块的尺寸不同，每组所述调节块中每个调节块的尺寸均相同；

不同组所述调节块设置在所述第一检测板与所述第二检测板之间，使所述第一检测板与所述第二检测板之间的距离变化，调整所述检测组件相对的两个侧边之间的距离。

3.根据权利要求2所述的硅片花篮检测装置，其特征在于，每组所述支撑杆包括第一支撑杆和第二支撑杆；

至少两个所述第一检测板沿所述待检测硅片花篮的第二方向间隔设置在所述第一支撑杆上，所述第二方向与所述第一方向成预设夹角，至少两个所述第二检测板沿所述第二方向间隔设置在所述第二支撑杆上，至少两个所述第一检测板与所述第一支撑杆活动连接，至少两个所述第二支撑杆与所述第二支撑杆活动连接；

所述第一检测板与所述第二检测板位置相对，所述第一检测板的第一表面上设置有齿纹，所述第二检测板的第二表面上设置有所述齿纹，所述第一表面与所述第二表面相互背离，两个所述侧边中一个所述侧边位于所述第一表面，另一个所述侧边位于所述第二表面。

4.根据权利要求3所述的硅片花篮检测装置，其特征在于，所述花篮检测装置还包括至少两个衬板；

所述衬板上开设至少两个第一通孔与至少两个第二通孔，所述第一支撑杆穿过所述第一通孔，所述第二支撑杆穿过所述第二通孔，且所述衬板分别与所述第一检测板和所述第二检测板接触；

在所述第一检测板与所述第二检测板之间的距离变化的情况下，不同组所述调节块位于所述衬板上。

5.根据权利要求4所述的硅片花篮检测装置，其特征在于，所述硅片花篮检测装置还包括至少一个定位杆，所述定位杆将所述调节块定位于所述衬板；

所述调节块上开设有第三通孔，所述衬板上开设有第四通孔，所述定位杆的第一端穿过所述第三通孔和第四通孔，所述定位杆的第二端的外径大于所述第三通孔的孔径，所述定位杆用于确定所述调节块的位置。

6.根据权利要求4所述的硅片花篮检测装置，其特征在于，所述硅片花篮检测装置还包括至少一个调节螺栓；

所述衬板上开有至少一个螺纹孔，所述调节螺栓位于所述螺纹孔中。

7.根据权利要求6所述的硅片花篮检测装置，其特征在于，所述调节螺栓包括螺栓头和螺纹杆，所述螺栓头朝向所述第一检测板。

8.根据权利要求3所述的硅片花篮检测装置，其特征在于，所述第一检测板上开设有至少两个第一通槽，所述第二检测板上开设有至少两个第二通槽，所述第一支撑杆穿过所述第一通槽，所述第二支撑杆穿过所述第二通槽。

9.根据权利要求2所述硅片花篮检测装置，其特征在于，所述硅片花篮检测装置还包括至少两组调节套筒；

每组所述调节套筒包括至少四个调节套筒；

至少两组所述调节套筒中一组所述调节套筒的长度与另一组所述调节套筒的长度不同，所述调节套筒的长度为所述调节套筒的一端的端面与另一端端面之间的距离，所述调节套筒用于调节相邻两个所述第一检测板之间的距离，以检测所述待检测硅片花篮的第二方向的尺寸，所述第二方向与第一方向成预设夹角。

10.根据权利要求3所述的硅片花篮检测装置，其特征在于，所述第一支撑杆上间隔开有至少四个第五通孔，所述第二支撑杆上间隔开有至少四个第六通孔，所述第五通孔与所述第六通孔位置相对，至少两个所述第五通孔中设置有第一阻挡件，所述第一阻挡件与所述第一检测板接触，至少两个所述第六通孔中设置有第二阻挡件，所述第二阻挡件与所述第二检测板接触。