[实用新型]一种有效屏蔽向外热辐射的真空蒸发源加热装置

权利要求书

1.一种有效屏蔽向外热辐射的真空蒸发源加热装置，其包括：

盛装装置，其上端开口，且内部设有安装孔，安装孔内设置有坩埚；

旋转导入器；

四电极法兰，一侧连接有两个电源电极柱、两个热偶电极柱以及回转杆；另一侧连接有一个焊接的固定螺杆且中部设有穿孔，穿孔内焊上金属管，金属管的一端伸出并连接有带有穿孔的连接法兰，连接法兰与旋转导入器连接；旋转导入器的操作端穿过连接法兰、金属管与回转杆驱动连接；

所述两个电源电极柱的上端分别对应连接有电极接线块，两个电极接线块之间连接有加热丝；

其特征在于：加热丝的中部伸入盛装装置的内部并用于对坩埚进行加热；两个热电偶电极柱的端部伸入盛装装置并固定于盛装装置；所述回转杆穿过盛装装置并连接有用于遮挡坩埚的挡片。

2.根据权利要求1所述的一种有效屏蔽向外热辐射的真空蒸发源加热装置，其特征在于：所述四电极法兰与盛装装置之间设有用于限制电极接线块位置的限位陶瓷块，限位陶瓷块设有多个穿孔，并分别与两个电源电极柱、两个热偶电极柱以及回转杆套接。

3.根据权利要求2所述的一种有效屏蔽向外热辐射的真空蒸发源加热装置，其特征在于：所述盛装装置包括上绝缘陶瓷体、下绝缘陶瓷体以及陶瓷桶；所述上绝缘陶瓷体呈圆形，上绝缘陶瓷体的上端面中部开设有上内凹孔，上内凹孔的底面中部设有上穿孔，上绝缘陶瓷体的下端向下延伸有下圆柱形凸块，上穿孔穿过下圆柱形凸块；所述下绝缘陶瓷体的上端面中部向上延伸形成上圆柱形凸块，上圆柱形凸块的中部设有与坩埚底部相配合的上凹孔，所述陶瓷桶的两端分别与上绝缘陶瓷体的下圆柱形凸块、下绝缘陶瓷体的上圆柱形凸块套接，上凹孔、陶瓷桶内部以及上穿孔形成所述的安装孔；所述下绝缘陶瓷体的下端中部设有下内凹孔；上绝缘陶瓷体的下圆柱形凸块、下绝缘陶瓷体的上圆柱形凸块都设有相对设置的穿插孔，用于穿插加热丝；所述上绝缘陶瓷体的上端连接有用于遮盖上内凹孔的上陶瓷盖片，下绝缘陶瓷体的下端连接有用于遮盖下内凹孔的下陶瓷盖片，减少加热丝暴露在外，上陶瓷盖片设有用于坩埚放入的避让孔，下陶瓷盖片设有用于加热丝，下内凹孔的中部设有与下内凹孔连通的测试槽，热偶丝穿过穿线孔插入测试槽，热偶丝的接点端与坩埚的底部相抵；热偶丝另一端接到热偶电极柱上。

4.根据权利要求3所述的一种有效屏蔽向外热辐射的真空蒸发源加热装置，其特征在于：所述上绝缘陶瓷体、上陶瓷盖片分别设有上连接孔，上连接孔内设有上连接件，上绝缘陶瓷体通过上连接件与上陶瓷盖片固定连接。

5.根据权利要求3或4所述的一种有效屏蔽向外热辐射的真空蒸发源加热装置，其特征在于：所述下绝缘陶瓷体、下陶瓷盖片分别设有下连接孔，下连接孔内设有下连接件，下绝缘陶瓷体通过下连接件与下陶瓷盖片固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种有效屏蔽向外热辐射的真空蒸发源加热装置，其特征在于：所述回转杆的端部设有外螺纹，所述挡片的一端设有连接孔，挡片套接于回转杆的端部且挡片的两侧分别连接有螺母。