[实用新型]多腔体无尘精密烤箱

说明书

本实用新型公开了一种多腔体无尘精密烤箱，包括有箱体、多个腔室、活动门、行程开关、电磁门锁、多个循环风机、电加热器、气体流量计、进、排气电磁阀、高效过滤器、温度传感器、温控器、控制器和多通道记录仪，电磁门锁、多个循环风机、电加热器的供电回路中分别安装有第一、二、三继电器；温度传感器分别与温控器电连接，温控器分别与控制器和多通道记录仪电连接，控制器分别与行程开关、气体流量计、第一、二、三继电器、进气电磁阀和排气电磁阀电连接。本实用新型设置多个腔室，既相互独立，又集中一体，可独立运行，也可同步运行，效果好，效率高，使产品快速、高效的达到所需温度，能够起到很好的洁净效果，且独立升温，实现了自动化作业。

技术领域

本实用新型涉及电子技术领域，具体是一种多腔体无尘精密烤箱。

背景技术

在电子半导体产品生产领域，高温烘烤烤箱是常见的生产加工设备之一，主要用于BPO胶/PI胶/BCB胶固化，模压固烤，IC芯片、平板显示器(FPD)、高精密电子元件、电子陶瓷材料的无尘烘干。

现有高温烘烤烤箱的烘烤腔通常为一个腔室，将产品放置在此腔室内进行烘干，若相同产品需要进行烘干时，则同置于一个腔室内，相互之间极易造成干扰，烘干效果差；若不同产品需要进行烘干时，由于不同产品对温度条件有着不同的要求，需要分批次进行操作，不仅烘干效果差，而且工作效率低下。另外，一些精密电子元件、电工产品、材料、零备等产品对于烘干环境有着较高的洁净要求，而现有的高温烘烤烤箱在这方面存在着不足。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术存在的缺陷和不足，提供一种多腔体无尘精密烤箱。

本实用新型的技术方案如下：

一种多腔体无尘精密烤箱，包括有箱体，其特征在于：所述箱体的前侧分别设有相互独立的多个腔室，每个腔室的前侧分别敞口并对应转动安装有活动门，所述的箱体上在对应于每个活动门的开启侧分别安装有行程开关和电磁门锁，所述电磁门锁的供电回路中安装有第一继电器；

所述箱体的后侧安装有多个循环风机，所述多个循环风机的供电回路中分别安装有第二继电器，多个循环风机的进气端分别连接有进气管道，所述的进气管道中分别安装有电加热器、气体流量计和进气电磁阀，所述电加热器的供电回路中分别安装有第三继电器，所述多个循环风机的出气端分别连接有出气管道，所述的出气管道中分别安装有高效过滤器，每个腔室的后侧分别设有进气口和排气口，每个腔室内分别设置有温度传感器，所述的进气口分别对应与所述出气管道相连接，所述的排气口分别连接有排气管道，所述的排气管道中分别安装有排气电磁阀；

所述箱体的顶部连接有控制箱，所述的控制箱上分别设置有温控器、控制器和多通道记录仪，所述的温度传感器分别与所述温控器电连接，所述的温控器分别与所述控制器和多通道记录仪电连接，所述的控制器分别与所述行程开关、气体流量计、第一、二、三继电器、进气电磁阀和排气电磁阀电连接。

所述的多腔体无尘精密烤箱，其特征在于：所述箱体底部分别安装有防静电脚轮和水平调节止震垫。

所述的多腔体无尘精密烤箱，其特征在于：所述活动门开启侧的内侧分别安装有门把手。

所述的多腔体无尘精密烤箱，其特征在于：所述的进气管道分别连接氮气源。

所述的多腔体无尘精密烤箱，其特征在于：所述排气管道的前端汇于一处并连接有排气总管。

所述的多腔体无尘精密烤箱，其特征在于：所述的控制器采用PLC。

本实用新型的有益效果：