[实用新型]半导体单晶合成坩锅有效
申请号: | 202020520598.8 | 申请日: | 2020-04-10 |
公开(公告)号: | CN211814720U | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 董家海;斯超波 | 申请(专利权)人: | 浙江诺华陶瓷有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;B08B9/087 |
代理公司: | 北京君恒知识产权代理有限公司 11466 | 代理人: | 余威 |
地址: | 322100 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 合成 | ||
本实用新型涉及冶炼设备技术领域,更具体的说是半导体单晶合成坩锅,可以自动清理坩埚的内壁与外壁。倾倒电机带动合成坩埚转动,将合成坩埚中的冶炼的熔化液倾倒出来,然后打开翻转油缸,翻转油缸顶起翻动连接板,使翻动连接板在垂直转动底座上转动,带动合成坩埚翻转起来,当合成坩埚内壁贴合在内壁清理毛刷上时,清理电机带动转动半圆板转动,转动半圆板带动内壁清理毛刷旋转,并对合成坩埚内壁进行清理,同时打开伸缩配合气缸,伸缩配合气缸带动电机安装架和旋转电机靠近合成坩埚,并使外壁贴合半圆板带动多个外壁清理刷贴合在合成坩埚的外壁上,旋转电机带动外壁贴合半圆板和多个外壁清理刷旋转,多个外壁清理刷将合成坩埚外壁进行清理。
技术领域
本实用新型涉及冶炼设备技术领域,更具体的说是半导体单晶合成坩锅。
背景技术
公开号为CN209043024U的实用新型公开了一种坩锅,其主要技术方案包括:用于储存熔液的、与熔炉内壁相匹配的坩锅本体;设置在坩锅本体开口处的法兰环;环设在坩锅本体外壁上、用于密封熔炉开口处内壁与坩锅本体外壁之间缝隙的加强部。本实用新型的坩锅在使用时,能够降低坩锅膨胀变形或产生裂痕的概率,延长坩锅的使用寿命,减少熔炉的热散失;缺点是无法自动清理坩埚的内壁与外壁。
发明内容
本实用新型提供半导体单晶合成坩锅,其有益效果为半导体单晶合成坩锅可以自动清理坩埚的内壁与外壁。
半导体单晶合成坩锅,包括内壁清理安装底座、转动倾倒坩埚和外壁旋转清理支架,所述的外壁旋转清理支架固定连接在内壁清理安装底座右端,转动倾倒坩埚固定连接在内壁清理安装底座上,所述的内壁清理安装底座包括加热支架、底部加热炉、转动固定支架、清理立柱、清理电机、转动半圆板和内壁清理毛刷,转动半圆板上均布有多个内壁清理毛刷,转动半圆板固定连接在清理电机的输出轴上,清理电机通过螺栓可拆卸连接在清理立柱,清理立柱底端固定连接在转动固定支架上,转动固定支架固定连接在加热支架左端,底部加热炉固定连接在加热支架中部,外壁旋转清理支架固定连接在加热支架右端,转动倾倒坩埚固定连接在转动固定支架上。
作为本技术方案的进一步优化,本实用新型半导体单晶合成坩锅所述的转动倾倒坩埚包括合成坩埚、倾倒电机、翻动连接板、垂直转动底座、翻转油缸和油缸配合底座,合成坩埚左端固定连接在倾倒电机的输出轴上,倾倒电机通过螺栓可拆卸连接在翻动连接板右端,翻动连接板左端转动连接在垂直转动底座,垂直转动底座固定连接在转动固定支架上,翻转油缸的伸缩轴转动连接在翻动连接板底端,翻转油缸底端转动连接在油缸配合底座上,油缸配合底座底端固定连接在转动固定支架上。
作为本技术方案的进一步优化,本实用新型半导体单晶合成坩锅所述的外壁旋转清理支架包括高度安装立柱、伸缩配合气缸、电机安装架、旋转电机、外壁贴合半圆板和外壁清理刷,外壁贴合半圆板上均布有多个外壁清理刷,外壁贴合半圆板固定连接在旋转电机的输出轴上,旋转电机通过螺栓可拆卸连接在电机安装架上,电机安装架固定连接在伸缩配合气缸的伸缩轴上,伸缩配合气缸通过螺栓可拆卸连接在高度安装立柱顶端,高度安装立柱底端固定连接在加热支架右端。
作为本技术方案的进一步优化,本实用新型半导体单晶合成坩锅所述的多个外壁清理刷为钢刷。
本实用新型半导体单晶合成坩锅的有益效果为:
半导体单晶合成坩锅可以通过倾倒电机带动合成坩埚进行转动,将合成坩埚内冶炼的熔化液倾倒出来;还可以通过翻转油缸带动合成坩埚进行翻转,使合成坩埚内壁贴合在内壁清理毛刷上,同时通过清理电机带动内壁清理毛刷进行快速旋转,将合成坩埚内壁进行清理,将冶炼的熔化液的残渣清理干净,避免影响后续冶炼的熔化液的质量;还可以通过旋转电机带动外壁清理刷贴合在合成坩埚的外壁上,将合成坩埚外壁上加热时烧黑的部分以及脏污清理干净,避免脏污过多,使合成坩埚外壁的导热能力下降,温度升高速度减慢。
附图说明
下面结合附图和具体实施方法对本实用新型做进一步详细的说明。
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