[实用新型]一种硅片插片入篮机构

权利要求书

1.一种硅片插片入篮机构，用于硅片传输组件传输的硅片插入片篮盒，其特征在于：包括垂直升降模块(1)、夹紧组件(2)、片篮盒(3)、缓冲组件(4)；

所述夹紧组件安装在垂直升降模块的滑块上，所述片篮盒(3)与夹紧组件(2)为可拆卸连接，所述片篮盒(3)内设有多个置片凹槽；

所述片篮盒(3)一侧开有硅片入口，远离硅片入口的一侧安装有缓冲组件(4)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片插片入篮机构，其特征在于：所述夹紧组件(2)包括定位底板(25)、第一定位侧板(26)、第二定位侧板、顶紧气缸，所述定位底板(25)向下延伸有挡板(251)，所述顶紧气缸安装在第二定位侧板上，所述第一定位侧板(26)、第二定位侧板分别安装在定位底板(25)的第一U型槽两侧，所述片篮盒(3)安装在第一定位侧板(26)、第二定位侧板中间，所述顶紧气缸将片篮盒(3)进行顶紧。

3.根据权利要求2所述的一种硅片插片入篮机构，其特征在于：所述定位底板(25)上设有第一U型槽，所述挡板(251)上设有第二U型槽，所述第一U型槽与第二U型槽相通，形成L槽，所述硅片传输组件一端位于L槽内，所述片篮盒(3)上设有与第一U型槽相对应的第三U型槽，所述第三U型槽大小与第一U型槽相同，所述硅片传输组件位于L槽、第三U型槽内。

4.根据权利要求2所述的一种硅片插片入篮机构，其特征在于：所述垂直升降模块(1)包括滑块(11)、滑轨(12)，所述滑块(11)一端固定在第一定位侧板(26)的外壁上，所述滑块(11)另一端安装在滑轨(12)上。

5.根据权利要求2所述的一种硅片插片入篮机构，其特征在于：所述第二定位侧板包括支撑杆(23)、安装板(24)，所述支撑杆(23)设有两个，所述安装板(24)安装在两个支撑杆(23)上，所述顶紧气缸包括第一顶紧气缸(21)、第二顶紧气缸(22)，所述第一顶紧气缸(21)安装在安装板(24)上，所述第二顶紧气缸(22)位于两个支撑杆(23)之间安装在定位底板(25)上。

6.根据权利要求3所述的一种硅片插片入篮机构，其特征在于：所述片篮盒(3)包括第一置片板(31)、第二置片板(32)、挡片杆(33)、插片杆(35)，所述第一置片板(31)与第二置片板(32)平行设置，所述第一置片板(31)、第二置片板(32)上对称设有第三U型槽，所述插片杆(35)设有多个，多个所述插片杆(35)对称安装在第一置片板(31)、第二置片板(32)上的第三U槽两侧，所述插片杆(35)内侧竖向设有多个置片凹槽，所述挡片杆(33)设有两个，两个所述挡片杆(33)安装在第一置片板(31)、第二置片板(32)远离第三U型槽开口一端。

7.根据权利要求6所述的一种硅片插片入篮机构，其特征在于：所述缓冲组件(4)包括旋转气缸(41)、缓冲条(43)、摆杆(42)，所述旋转气缸(41)与摆杆(42)一端连接，所述缓冲条(43)安装在摆杆(42)远离旋转气缸(41)一端的侧壁，通过旋转气缸(41)旋转将缓冲条(43)安装在片篮盒(3)内。

8.根据权利要求7所述的一种硅片插片入篮机构，其特征在于：所述第一置片板(31)、第二置片板(32)远离第三U型槽开口一端分别设有两个第一凹槽(34)，所述缓冲条(43)安装在第一凹槽(34)内。

9.根据权利要求7所述的一种硅片插片入篮机构，其特征在于：所述缓冲条(43)直径大于插片杆(35)的直径。