[实用新型]一种晶圆涂胶机

说明书

本实用新型公开了一种晶圆涂胶机，包括滴胶喷嘴，滴胶喷嘴的下方设置有外罩，外罩的内侧底部设置有升降器，升降器的顶端设置有驱动环，驱动环的顶端设置有与其相配合的内罩，内罩的内部且位于滴胶喷嘴的下方设置有晶圆，晶圆的底端设置有底座，底座与内罩从左至右依次设置有干燥喷嘴与清洗喷嘴，干燥喷嘴远离内罩的一侧与清洗喷嘴远离内罩的一侧分别均设置有活动机构；其中，活动机构包括与干燥喷嘴连接的支撑柱，支撑柱的底端设置有支撑座，支撑柱的顶部套设有圆柱齿轮，支撑柱的两侧且位于圆柱齿轮的下方设置有角度传感器。有益效果：通过设置本实用新型，进而提高清洗与干燥的效率。

技术领域

本实用新型涉及晶圆涂胶机领域，具体来说，涉及一种晶圆涂胶机。

背景技术

涂胶机又称为涂覆机，刮胶机、自动喷胶机等。主要用以将液态胶水涂在纺织品、纸盒或者皮革表面上的一种机械设备，现有的涂胶机有很多种款式，如：鼓式涂胶机、双作用涂胶机、双工位升降涂胶机等。涂覆机是通过气压将胶水或者油漆之类的液体喷涂到所需要的产品上。设备采用了三轴联动，自动化操作，同时配有电脑编程控制路径喷涂。喷涂厚度和时间均可设定，简单易操作。

现有的晶圆涂胶机通过设置内罩、驱动环、升降器等装置相配合，从而用于清洗晶圆背面的清洗装置便于可对内罩进行清洗，虽然，省去了现有技术中将保护罩拆除在进行清洗的步骤，但在具体的工作过程中，清洗喷嘴与干燥喷嘴仅仅保持一个角度对内罩进行清洗，进而降低了清洗与干燥的效率。

针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

实用新型内容

针对相关技术中的问题，本实用新型提出一种晶圆涂胶机，以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。

为此，本实用新型采用的具体技术方案如下：

一种晶圆涂胶机，包括滴胶喷嘴，滴胶喷嘴的下方设置有外罩，外罩的内侧底部设置有升降器，升降器的顶端设置有驱动环，驱动环的顶端设置有与其相配合的内罩，内罩的内部且位于滴胶喷嘴的下方设置有晶圆，晶圆的底端设置有底座，底座与内罩从左至右依次设置有干燥喷嘴与清洗喷嘴，干燥喷嘴远离内罩的一侧与清洗喷嘴远离内罩的一侧分别均设置有活动机构；其中，活动机构包括与干燥喷嘴连接的支撑柱，支撑柱的底端设置有支撑座，支撑柱的顶部套设有圆柱齿轮，支撑柱的两侧且位于所圆柱齿轮的下方设置有角度传感器，圆柱齿轮的一侧设置有与其相配合的驱动装置，支撑柱上且位于圆柱齿轮与支撑座之间设置有支撑机构，驱动装置的下方设置有电机，电机通过移动机构与支撑机构连接，电机与支撑座之间及驱动装置与支撑座之间分别均通过活动座连接。

进一步的，为了可为圆柱齿轮提供动力，扩大干燥喷嘴与清洗喷嘴在水平方向上的喷洒面积，从而通过设置驱动装置，驱动装置包括设置与圆柱齿轮相啮合的驱动齿轮，驱动齿轮的底端设置有与其相配合的驱动电机。

进一步的，为了可与电机相配合，扩大干燥喷嘴与清洗喷嘴在上下方向上的喷洒面积，从而通过设置支撑机构，支撑机构包括套设在圆柱齿轮上的套筒，套筒的两端对称设置有一组连接环，套筒的两侧且位于两个连接环之间对称设置有一组连接盘，连接盘的中间位置开设有连接孔一。

进一步的，为了而可与支撑机构及电机相配合扩大干燥喷嘴与清洗喷嘴在上下方向上的喷洒面积，从而通过设置移动机构，移动机构包括与支撑机构连接的连接机构，连接机构通过移动杆与电机连接，移动杆上且位于连接机构远离支撑机构的一侧设置有与其相配合的限位机构。

进一步的，为了为移动杆提供活动空间，从而通过设置连接机构，连接机构包括与连接孔一相配合的连接柱，连接柱远离支撑柱的一侧设置有连接架，连接架呈类U字形形状，连接架的底端开设有与移动杆相配合的连接孔二。

进一步的，为了更加便于移动机构恢复原状，从而通过设置限位机构，限位机构包括套设在移动杆上且位于连接机构与电机之间的限位板，限位板连接机构之间且位于移动杆上设置有弹簧。