[实用新型]一种叶片表面缺陷形貌检测装置

说明书

本实用新型公开了一种叶片表面缺陷形貌检测装置，包括支撑架、固定座、计算机显示屏、扫描支撑座、SPM单元、计算机主机，所述计算机显示屏安装于固定座上，且固定座放置于支撑架的顶部，所述计算机主机安装于支撑架的内侧，且计算机主机和计算机显示屏通过导线连接，所述支撑架的内侧面延伸设置有放置架，所述SPM单元置于放置架内，所述扫描支撑座置于支撑架的顶部，并位于计算机显示屏的一侧；本实用新型的有益效果是：通过设计的稳固组件，起到对扫描支撑座的稳固支撑，提高了扫描支撑座放置在支撑架上快速稳固的效率；通过设计的支撑活动机构，实现水平板的快速抽拉，从而更快捷的对SPM单元检修，提高了对SPM单元检修的效率。

技术领域

本实用新型属于表面缺陷形貌检测技术领域，具体涉及一种叶片表面缺陷形貌检测装置。

背景技术

叶片表面缺陷形貌检测可使用扫描探针显微镜；扫描探针显微镜是借助于探测样品与探针之间存在的各种相互作用所表现出的各种不同特性来实现测量的。依据这些特性，目前已开发出各种各样的扫描探针显微镜SPM。就测量表面形貌而言，扫描隧道显微镜和原子力显微镜最为人们熟悉和掌握。扫描探针显微测量方法是扫描测量，最终给出的是整个被测区域上的表面形貌。SPM测量精度高，纵向及横向分辨率达原子量级，但是其测量范围较窄，同时操作较复杂。因此SPM常适合于测量结构单元在nm量级、测量区域为m量级的微结构。

现有的叶片表面缺陷形貌检测装置使用时存在着以下方面的不足：

1.扫描支撑座置于支撑架上时，实现扫描支撑座放置的快速稳固性方面存在着不足；

2.SPM单元检修时，将SPM单元取下检修费力。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种叶片表面缺陷形貌检测装置，以解决上述背景技术中提出的扫描支撑座置于支撑架上时，实现扫描支撑座放置的快速稳固性方面存在着不足；SPM单元检修时，将SPM单元取下检修费力的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种叶片表面缺陷形貌检测装置，包括支撑架、固定座、计算机显示屏、扫描支撑座、SPM单元、计算机主机，所述计算机显示屏安装于固定座上，且固定座放置于支撑架的顶部，所述计算机主机安装于支撑架的内侧，且计算机主机和计算机显示屏通过导线连接，所述支撑架的内侧面延伸设置有放置架，所述SPM单元置于放置架内，所述扫描支撑座置于支撑架的顶部，并位于计算机显示屏的一侧，所述扫描支撑座和SPM单元通过导线连接，还包括稳固组件，该稳固组件包括支撑块、螺母、螺纹杆、第一橡胶块和第二橡胶块，所述支撑块固定于支撑架的顶部，该支撑块的内侧面一端固定有第一橡胶块，该支撑块上开设有穿孔，该穿孔内固定有和螺纹杆螺纹旋合的螺母，所述螺纹杆的一端固定有可与扫描支撑座相抵的第二橡胶块，所述扫描支撑座的侧表面可与第一橡胶块相抵。

优选的，所述第一橡胶块为长方体结构，所述第二橡胶块为长方体结构。

优选的，所述螺纹杆的另一端固定有旋钮，该旋钮为环形结构。

优选的，所述计算机主机的底部四角固定有底脚，该底脚为柱形结构。

优选的，还包括支撑活动机构，该支撑活动机构包括水平板、滑块和滑槽，所述水平板置于放置架的内底部，所述水平板的底部固定有对称分布的滑块，所述放置架的内底部开设有和滑块相匹配的滑槽。

优选的，所述滑块为长方体结构，所述水平板的前表面固定有拉手。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)通过设计的稳固组件，起到对扫描支撑座的稳固支撑，提高了扫描支撑座放置在支撑架上快速稳固的效率；

(2)通过设计的支撑活动机构，实现水平板的快速抽拉，从而更快捷的对SPM单元检修，提高了对SPM单元检修的效率。

附图说明