[实用新型]一种用于氮化镓晶体生长高压釜的移动装置有效
申请号: | 202020535252.5 | 申请日: | 2020-04-13 |
公开(公告)号: | CN212077202U | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 乔焜;林岳明;高明哲 | 申请(专利权)人: | 上海玺唐半导体科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/40 | 分类号: | C30B29/40;C30B7/10 |
代理公司: | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人: | 方仕杰 |
地址: | 200000 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 氮化 晶体生长 高压 移动 装置 | ||
本实用新型公开了一种用于氮化镓晶体生长高压釜的移动装置,包括底板和底座,底板上固定安装有固定板、第一限位板、第二限位板和第三限位板,底板的顶部设置有滑轨,底座的底部固定安装有万向轮,底座的顶部固定连接有高压釜,高压釜的两侧连接有连接块,连接块上连接有滑套,滑套上连接有转动杆,第一限位板上安装有电机,电机的输出轴与转动轴固定连接,转动轴上连接有第一齿轮,第一齿轮的两侧啮合连接有第二齿轮,第二齿轮与转动杆固定连接。本实用新型通过电机带动高压釜、底座和万向轮在滑轨方向上移动,将高压釜沿着滑轨移动至不同的场地区域,进行装料、充氨、生长和清洗等工艺,结构简单,操作方便,节省了人力,提高了生产效率。
技术领域
本实用新型涉及设备移动技术领域,尤其涉及一种用于氮化镓晶体生长高压釜的移动装置。
背景技术
氨热法制备氮化镓晶体所采用的生长条件为100-300MPa,500-650℃,所用的高压釜材质为镍基合金,制备氮化镓晶体时分为装料、充氨、生长和清洗等工艺,在不同的场地区域实现不同的工艺过程,这就需要将高压釜进行移动,传统的高压釜的移动装置通常由人工手动操作搬运,不仅增加了劳动量,而且降低了生产效率。
实用新型内容
针对背景技术的不足,本实用新型提供了一种用于氮化镓晶体生长高压釜的移动装置,结构简单,操作方便,节省了人力,提高了生产效率。
为了实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种用于氮化镓晶体生长高压釜的移动装置,包括底板和底座,所述底板的两侧固定连接有固定板,所述底板垂直于所述固定板的方向上固定连接有第一限位板、第二限位板和第三限位板,所述底板的顶部设置有滑轨,所述底座的底部固定安装有万向轮,所述底座的顶部固定连接有高压釜,所述高压釜的两侧固定连接有连接块,所述连接块通过螺栓连接有滑套,所述滑套通过螺纹结构连接有转动杆,所述转动杆的一端与固定安装在所述第一限位板上的第一轴承连接,所述转动杆的另一端与固定安装在所述第三限位板上的第二轴承连接。
采用上述方案,万向轮与滑轨相适配,万向轮能够在滑轨内转动,转动杆转动时,滑套能够在转动杆上移动,从而带动高压釜、底座和万向轮在滑轨方向上移动。
优选的,所述第一限位板上固定安装有电机,所述电机的输出轴与转动轴固定连接,所述转动轴上固定安装有第一齿轮,所述第一齿轮的两侧啮合连接有第二齿轮,所述第二齿轮与所述转动杆固定连接。
采用上述方案,电机带动转动轴转动,从而带动第一齿轮转动,第二齿轮跟随第一齿轮转动,带动转动杆转动,因此,滑套能够在转动杆上移动,从而带动高压釜、底座和万向轮在滑轨方向上移动。
优选的,所述高压釜的两侧固定安装有把手。
采用上述方案,方便操作人员利用把手移动高压釜。
优选的,所述滑套上设置有限位空腔,所述限位空腔内设置有与所述转动杆相适配的螺纹结构。
采用上述方案,滑套通过限位空腔与转动杆螺纹连接,转动杆转动时,滑套能够在转动杆上移动。
优选的,所述第三限位板设置为一组。
优选的,所述高压釜的宽度与连接块的宽度之和小于所述第三限位板之间的距离A。
采用上述方案,将螺栓从连接块与滑套之间拆卸后,高压釜能够从第三限位板之间通过。
优选的,所述底板远离第一限位板的一侧倾斜设置,且所述底板与地面的夹角为5-20度。
采用上述方案,高压釜从第三限位板之间通过后,操作人员利用把手能够将高压釜沿着底板倾斜的一侧移动至地面上。
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