[实用新型]一种用于PVT法感应炉制备SiC单晶的保温筒有效

专利信息
申请号: 202020539276.8 申请日: 2020-04-13
公开(公告)号: CN211848205U 公开(公告)日: 2020-11-03
发明(设计)人: 肖如镜;姜明理;何才龙 申请(专利权)人: 山东伟基炭科技有限公司
主分类号: C30B23/00 分类号: C30B23/00;C30B29/36
代理公司: 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105 代理人: 杨先凯
地址: 250102 山东省济南*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 pvt 感应炉 制备 sic 保温
【权利要求书】:

1.一种用于PVT法感应炉制备SiC单晶的保温筒,其特征在于,包括至少2块外侧碳-碳复合材料圆弧板、至少2块内侧碳-碳复合材料圆弧板、碳纤维软毡、石墨绳;

所述外侧碳-碳复合材料圆弧板的竖向边部设置有穿绳通孔,所述外侧碳-碳复合材料圆弧板的水平向边部设置有穿绳通孔,石墨绳穿过相邻的两块外侧碳-碳复合材料圆弧板的竖向边部上的穿绳通孔以用于将相邻的两块外侧碳-碳复合材料圆弧板捆绑连接在一起,捆绑连接在一起的相邻的两块外侧碳-碳复合材料圆弧板之间留有缝隙以用于避免接触导电,全部的外侧碳-碳复合材料圆弧板通过石墨绳的捆绑连接拼接成一个外侧圆筒;

所述内侧碳-碳复合材料圆弧板的竖向边部设置有穿绳通孔,所述内侧碳-碳复合材料圆弧板的水平向边部设置有穿绳通孔,石墨绳穿过相邻的两块内侧碳-碳复合材料圆弧板的竖向边部上的穿绳通孔以用于将相邻的两块内侧碳-碳复合材料圆弧板捆绑连接在一起,捆绑连接在一起的相邻的两块内侧碳-碳复合材料圆弧板之间留有缝隙以用于避免接触导电,全部的内侧碳-碳复合材料圆弧板通过石墨绳的捆绑连接拼接成一个内侧圆筒;

所述内侧圆筒套设在所述外侧圆筒之中,且所述碳纤维软毡作为夹心层夹在所述内侧圆筒与外侧圆筒之间;

石墨绳依次穿过所述外侧碳-碳复合材料圆弧板的水平向边部的穿绳通孔、碳纤维软毡、所述内侧碳-碳复合材料圆弧板的水平向边部的穿绳通孔,以用于将外侧碳-碳复合材料圆弧板、碳纤维软毡与所述内侧碳-碳复合材料圆弧板三者捆绑叠加在一起。

2.根据权利要求1所述的一种用于PVT法感应炉制备SiC单晶的保温筒,其特征在于,所述保温筒包括3块外侧碳-碳复合材料圆弧板与3块内侧碳-碳复合材料圆弧板。

3.根据权利要求1所述的一种用于PVT法感应炉制备SiC单晶的保温筒,其特征在于,相邻的两块外侧碳-碳复合材料圆弧板之间的缝隙与相邻的两块内侧碳-碳复合材料圆弧板之间的缝隙交错布置。

4.根据权利要求1所述的一种用于PVT法感应炉制备SiC单晶的保温筒,其特征在于,所述碳纤维软毡为粘胶基碳纤维软毡。

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