[实用新型]二氧化碳去离子水发泡机

说明书

本实用新型涉及一种二氧化碳去离子水发泡机，其包括机体，机体上设置有控制面板，机体上连通有去离子水进水管和二氧化碳进气管，机体内设置有气液混合筒，去离子水进水管和二氧化碳进气管与气液混合筒相连通，气液混合筒连通有去离子水出水管，二氧化碳进气管连通有连接管，连接管延伸至气液混合筒内部，连接管上开设有多个出气孔。本实用新型中的二氧化碳气体从连接管中进入到气液混合筒内部，连接管上的多个出气孔能够均匀的将二氧化碳气体分散开，二氧化碳气体能够均匀的进入到去离子水中，从而能够充分的与去离子水进行混合，使二氧化碳气体与去离子水充分的混合溶解，在对芯片进行清洗处理的过程中能够起到较好的清洗处理的效果。

技术领域

本实用新型涉及芯片加工的技术领域，尤其是涉及一种二氧化碳去离子水发泡机。

背景技术

在芯片制造设备中，为防止静电对被加工的芯片产生破坏，需要对去去离子水进行离子化处理，以消除静电。在常温下，二氧化碳可部分溶解于去去离子水中产生氢离子和碳酸根离子形成去离子水。由于该去离子水干燥后，其中的离子变为二氧化碳后挥发掉，在被处理的芯片上不会残留任何杂质。因此二氧化碳去离子水被广泛应用到芯片制造的各个工艺步骤中。由于芯片制造对去离子水的纯度要求十分严格，因此在去离子水制备过程中不得使用机械手段来促使二氧化碳在水中的溶解。

目前制备二氧化碳去离子水的方法是，二氧化碳气体通过进气管经电磁阀与通过进液管内去去离子水在三通管内进行混合，再经过一段较长的混合管道使二氧化碳气体溶解在水中形成去离子水，然后通过电导率探头检测去离子水的电导率，即检测水中的离子浓度，并将该电导率反馈到一个控制器内，控制器根据检测信号调整电磁阀的通断频率以调整二氧化碳的进气量，从而达到控制制成的去离子水的离子浓度。

上述技术方案中二氧化碳去离子水的二氧化碳气体不能充分溶解。二氧化碳气体和去去离子水是在三通中混流后再经一个较长的混合管道混合，由于缺乏搅拌手段，大部分二氧化碳在水中以较大的气泡形式存在，这些气泡减小了气液接触面积，使得二氧化碳气体难以充分溶解到水中。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种二氧化碳去离子水发泡机，该发泡机能够使二氧化碳气体与去离子水充分的混合溶解，能够对芯片起到较好的清洗处理作用。

本实用新型的上述发明目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种二氧化碳去离子水发泡机，包括机体，所述机体上设置有控制面板，所述机体上连通有去离子水进水管和二氧化碳进气管，所述机体内设置有气液混合筒，所述去离子水进水管和二氧化碳进气管与气液混合筒相连通，所述气液混合筒连通有去离子水出水管，所述二氧化碳进气管连通有连接管，所述连接管延伸至气液混合筒内部，所述连接管上开设有多个出气孔。

通过采用上述技术方案，在使二氧化碳与去离子水进行混合的时候，二氧化碳气体从连接管中进入到气液混合筒内部，连接管上的多个出气孔能够均匀的将二氧化碳气体分散开，二氧化碳气体能够均匀的进入到去离子水中，从而能够充分的与去离子水进行混合，使二氧化碳气体与去离子水充分的混合溶解，在对芯片进行清洗处理的过程中能够起到较好的清洗处理的效果。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述连接管为蛇形管。

通过采用上述技术方案，蛇形管的设置可以使连接管在气液混合筒内的长度进行延伸，扩大连接管与去离子水的接触面积，从而能够使出气孔在气液混合筒内分布得更加的均匀，在二氧化碳进入到气液混合筒内部的时候，二氧化碳能够与去离子水进行充分的混合，使二氧化碳气体与去离子水充分的混合。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述连接管呈螺旋盘管状设置。