[实用新型]一种晶圆载具

权利要求书

1.一种晶圆载具，包括载具本体(A)和固定柱(B)，其特征在于：所述载具本体(A)的上表面内部开设有气流槽(1)，所述载具本体(A)上表面内部靠近所述气流槽(1)的下方固定设置有晶圆承载台阶(2)，所述载具本体(A)的上表面靠近所述气流槽(1)的两侧固定设置有定位凸台(3)，所述载具本体(A)的上表面远离所述定位凸台(3)的外侧开设有定位通孔(5)，所述载具本体(A)的内部靠近所述定位凸台(3)的下方开设有定位盲孔(4)，所述固定柱(B)贯穿所述定位通孔(5)与所述载具本体(A)可拆卸连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆载具，其特征在于：所述气流槽(1)的宽度不小于晶圆直径，且气流槽(1)深度为2-20mm。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆载具，其特征在于：所述定位通孔(5)的数量有四个，四个所述定位通孔(5)位于载具边缘4个对称位置。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆载具，其特征在于：所述定位盲孔(4)的数量有2个，两个所述定位盲孔(4)位于载具边缘对称位置，直径2-10，深度1-5mm。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆载具，其特征在于：所述定位凸台(3)的数量有两个，两个所述定位凸台(3)的位置与所述定位盲孔(4)的位置相对应，直径略小于所述定位盲孔(4)(0.1-1mm)，有一定锥度(2-15度)，高度略小于所述定位盲孔(4)(0.1-1mm)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆载具，其特征在于：所述载具本体(A)和所述固定柱(B)的材质均采用选用金属或陶瓷或石英，且所述固定柱(B)的形状为圆柱型，每节长度相同，直径依次变大，此直径和所述载具本体(A) 的所述定位通孔(5)相配合，尺寸略小于所述载具本体(A)(0.1-1mm)，节数10-200节。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆载具，其特征在于：在密齿距状态时，所述载具本体(A)通过所述定位凸台(3)和所述定位盲孔(4)连接，齿距为载具本体(A)的厚度。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆载具，其特征在于：在疏齿距状态，所述载具本体(A)通过所述定位通孔(5)和所述固定柱(B)连接，齿距为所述固定柱(B)的节距。