[实用新型]一种高产能槽式硅片清洗制绒设备

权利要求书

1.一种高产能槽式硅片清洗制绒设备，其特征在于，具有多个依次排列的工艺槽及用于花篮在工艺槽内取放的机械臂；

所述工艺槽的槽体宽度设置为对应一个花篮的宽度，槽体长度设置为对应三个花篮的长度，即每个所述工艺槽均设置为沿槽体长度方向同时放置3×1布局的三个花篮；

所述机械臂包括主动支架和从动支架；所述主动支架通过滑轨设置在所述机械臂的一端并由驱动机构驱动沿所述滑轨平移升降，所述从动支架通过滑轨设置在所述机械臂的另一端；所述主动支架和从动支架之间通过悬梁连接以实现所述从动支架与主动支架的同步升降；所述悬梁上设置三个挂钩分别对应每个所述工艺槽内三个花篮的位置以实现采用所述机械臂一次抓起三个花篮并分别送到不同工艺槽内。

2.根据权利要求1所述的一种高产能槽式硅片清洗制绒设备，其特征在于，所述机械臂设置有多个以分别对应不同工段的工艺槽。

3.一种高产能槽式硅片清洗制绒设备，其特征在于，具有多个依次排列的工艺槽及用于花篮在工艺槽内取放的机械臂；

所述工艺槽的槽体宽度设置为对应一个花篮的宽度，槽体长度设置为对应四个花篮的长度，即每个所述工艺槽均设置为沿槽体长度方向同时放置4×1布局的四个花篮；

所述机械臂包括主动支架和从动支架；所述主动支架通过滑轨设置在所述机械臂的一端并由驱动机构驱动沿所述滑轨平移升降，所述从动支架通过滑轨设置在所述机械臂的另一端；所述主动支架和从动支架之间通过悬梁连接以实现所述从动支架与主动支架的同步升降；所述悬梁上设置四个挂钩分别对应每个所述工艺槽内四个花篮的位置以实现采用所述机械臂一次抓起四个花篮并分别送到不同工艺槽内。

4.根据权利要求3所述的一种高产能槽式硅片清洗制绒设备，其特征在于，所述机械臂设置有多个以分别对应不同工段的工艺槽。

5.根据权利要求3所述的一种高产能槽式硅片清洗制绒设备，其特征在于，每个所述工艺槽的槽体外圈及底部均设置有加强筋，以避免塑料材质的槽体由于长度较长而在高温状态下产生变形。