[实用新型]超声波扫描显微镜检测系统器件定位装置有效
| 申请号： | 202020542670.7 | 申请日： | 2020-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN211978773U | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 聂延伟;宋婉潇;杨国牛;薛翔;夏启飞;刘荣辉 | 申请（专利权）人： | 西安西谷微电子有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N29/26 | 分类号： | G01N29/26;G01N29/28 |
| 代理公司： | 北京东灵通专利代理事务所(普通合伙) 61242 | 代理人： | 李思琼 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市高新区锦业路*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 超声波 扫描 显微镜 检测 系统 器件 定位 装置 | ||
【权利要求书】：
1.超声波扫描显微镜检测系统器件定位装置，其特征在于：包括检测平台和耦合介质槽，所述耦合介质槽内设置与所述检测平台边缘位置相应的固定点，使检测平台对应所述固定点放置于耦合介质槽内时，所述检测平台的中心点与所述耦合介质槽的中心点重合；所述检测平台上围绕中心点的位置固定待测塑封电子元器件。
2.根据权利要求1所述的超声波扫描显微镜检测系统器件定位装置，其特征在于：所述检测平台上围绕中心点的位置通过粘接材料固定待测塑封电子元器件。
3.根据权利要求1或2所述的超声波扫描显微镜检测系统器件定位装置，其特征在于：所述检测平台上设置把手。
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