[实用新型]一种平行度检测仪及其调节控制器

权利要求书

1.一种平行度检测仪，其特征在于，包括：

干涉仪（2），用于工件平行度检测时发射光束；

置物台（3），用于放置标准工件；

检测单元（4），用于放置待测工件，并使待测工件进行二维运动，包括横向运动机构（45），横向运动机构（45）设有纵向运动机构（44），纵向运动机构（44）设有调平组件（43），调平组件（43）正上方设有反射组件（42），待测工件置于调平组件（43）；

控制柜（5），与干涉仪（2）和检测单元（4）连接，用于控制干涉仪（2）与检测单元（4），使置于检测单元（4）的待测工件进行二维运动，控制干涉仪（2）的启闭状态；

置物台（3）设于干涉仪（2）和检测单元（4）之间。

2.根据权利要求1所述的平行度检测仪，其特征在于，检测单元（4）还包括下支撑板（40），下支撑板（40）向上延伸的安装有支撑柱（41）若干，支撑柱（41）上端安装有上组装柱（46）若干，上组装柱（46）组装形成一个矩形框；

反射组件（42）包括安装于一对上组装柱（46）之间的上安装板（420），上安装板（420）向下延伸地安装有反射镜安装板（421），反射镜安装板（421）装配有镜架（422），镜架（422）下端倾斜地安装有镜框（423），镜框（423）内安装有反射镜（424），反射镜（424）与镜架（422）所成的夹角为锐角，镜架（422）上端装配有调节杆（425），调节杆（425）旋于上安装板（420），调节杆（425）用于调节反射镜（424）的高度。

3.根据权利要求1所述的平行度检测仪，其特征在于，调平组件（43）包括安装于纵向运动机构（44）的调平下板（430），调平下板（430）正上方设有调平上板（431），调平上板（431）上壁成形有圆槽（4310），调平上板（431）设有平整圆台（439），平整圆台（439）置于圆槽（4310）内，调平上板（431）一侧安装有调平卡板（432），调平下板（430）一侧旋有锁止杆（433），锁止杆（433）穿于调平卡板（432），调平上板（431）与调平下板（430）之间其中一个角处设有滚珠（437），调平上板（431）另外三个角处装配有调平杆（438）三个，调平上板（431）另外三个角处与调平杆（438）匹配地设有上插销（434）三个，上插销（434）均设有调平弹簧（435），调平弹簧（435）下端均设有下插销（436），下插销（436）均安装于调平下板（430）；

调平杆（438）包括装配于调平上板（431）的转筒（4381），转筒（4381）内旋有顶推杆（4380），顶推杆（4380）下端与调平下板（430）接触。

4.根据权利要求2所述的平行度检测仪，其特征在于，横向运动机构（45）包括安装于下支撑板（40）的横向底板（450），横向底板（450）两端安装有横向端盖（451），横向端盖（451）之间设有横向防尘罩（452），横向底板（450）沿着长度方向安装有横向导轨（453）一对，横向底板（450）一端安转有横向驱动电机（454），横向驱动电机（454）的输出轴安装有横向连轴器（455），横向连轴器（455）安装有横向丝杆（457），横向丝杆（457）两端均装配有横向轴承座（456），横向轴承座（456）均安装于横向底板（450），横向丝杆（457）装配有横向运动块（458），横向运动块（458）下端安装有横向滑块（459）一对，横向滑块（459）均装配于横向导轨（453）。