[实用新型]一种CMP抛光机压头

权利要求书

1.一种CMP抛光机压头，包括气囊(1)，其特征在于：所述气囊(1)的表面安装有气囊支撑板(2)，所述气囊(1)的表面设置有外圈(5)，所述外圈(5)的表面活动连接有基座(9)，所述基座(9)的表面安装有加压支撑板(15)，所述外圈(5)的表面安装有外圈弹性胶膜(8)，所述外圈弹性胶膜(8)的表面安装有内圈(7)，所述内圈(7)的表面安装有保持环支撑(4)，所述保持环支撑(4)的表面安装有保持环(3)，所述保持环支撑(4)和内圈(7)之间安装有内圈弹性胶膜(6)，所述保持环支撑(4)的表面安装有中心压头(16)，所述气囊(1)的表面安装有气管接头(12)。

2.如权利要求1所述的一种CMP抛光机压头，其特征在于：所述内圈(7)的表面安装有弹性胶膜压圈(10)，所述内圈(7)通过弹性胶膜压圈(10)安装在外圈弹性胶膜(8)的表面。

3.如权利要求1所述的一种CMP抛光机压头，其特征在于：所述内圈(7)的表面安装有滑动螺栓(14)，所述加压支撑板(15)的表面开设有限位槽，所述滑动螺栓(14)的另一端安装在加压支撑板(15)的限位槽中。

4.如权利要求1所述的一种CMP抛光机压头，其特征在于：所述基座(9)的表面开设有三个通气孔，且三个通气孔分别是中心压头通气孔、气囊通气孔和保持环通气孔。

5.如权利要求1所述的一种CMP抛光机压头，其特征在于：所述基座(9)的表面安装有定位销(11)，所述定位销(11)的数量为四个。

6.如权利要求1所述的一种CMP抛光机压头，其特征在于：所述基座(9)的表面安装有限位销(13)，所述基座(9)通过限位销(13)与中心压头(16)连接。