[实用新型]一种制备硅片切割液的自清洗搅拌仓

权利要求书

1.一种制备硅片切割液的自清洗搅拌仓，包括仓体(1)，所述仓体(1)活动连接有通过电机(2)驱动的搅拌轴(3)，其特征在于：所述搅拌轴(3)中空且设有多个均布的出水孔(31)，所述搅拌轴(3)上端设有进水孔(32)；

所述仓体(1)上端安装有套设在所述搅拌轴(3)上的储水仓(4)，所述储水仓(4)设有进水口(41)，所述进水孔(32)位于所述储水仓(4)内，所述储水仓(4)通过密封圈(5)与所述搅拌轴(3)活动连接。

2.根据权利要求1所述的一种制备硅片切割液的自清洗搅拌仓，其特征在于：所述搅拌轴(3)上端固定连接有堵头(6)。

3.根据权利要求2所述的一种制备硅片切割液的自清洗搅拌仓，其特征在于：所述堵头(6)设有与所述搅拌轴(3)内孔卡接的凸台(61)。

4.根据权利要求1所述的一种制备硅片切割液的自清洗搅拌仓，其特征在于：所述储水仓(4)通过连接件(7)与所述仓体(1)固定连接，所述连接件(7)包括上法兰(71)和下法兰(72)，所述上法兰(71)通过紧固件与所述储水仓(4)固定连接，所述下法兰(72)通过紧固件与所述仓体(1)固定连接。