[实用新型]一种多弧离子镀设备的可视结构有效
申请号: | 202020549044.0 | 申请日: | 2020-04-15 |
公开(公告)号: | CN211814634U | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 冷长志 | 申请(专利权)人: | 杭州云度新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/52 |
代理公司: | 杭州永绎专利代理事务所(普通合伙) 33317 | 代理人: | 许传秀 |
地址: | 311400 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 离子镀 设备 可视 结构 | ||
1.一种多弧离子镀设备的可视结构,包括外壳(1)和可视窗口(2);其特征是所述外壳(1)上设有可视通道(3),所述可视窗口(2)安装在可视通道(3)的端口上;所述可视通道(3)上还设有活动孔(4);所述活动孔(4)上活动安装有调节旋钮(5),所述调节旋钮(5)一端穿过活动孔(4)后通过螺纹连接有隔板(6)。
2.根据权利要求1所述的一种多弧离子镀设备的可视结构,其特征在于:所述可视窗口(2)上设有耐高温可视板(7)。
3.根据权利要求1所述的一种多弧离子镀设备的可视结构,其特征在于:所述隔板(6)直径小于可视通道(3)的直径。
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