[实用新型]一种半导体用机械手测漏治具

说明书

本实用新型公开了一种半导体用机械手测漏治具，包括外壳、防磨板、通气孔、橡胶圈和连接杆，所述外壳的顶端固定连接有连接杆，且连接杆的顶端固定连接有连接块，所述连接杆的底端活动连接有橡胶圈，所述连接杆的底端设置有通气孔，所述外壳的外侧固定连接有防磨板，所述外壳的底端固定连接有连接结构。本实用新型通过在连接杆的底端设置有通气孔，确保将治具和机械手本体平面完全接触，并保持密闭的状态，在连接杆处对接波纹管，连接到氦气测漏仪，打开氦气测漏仪进行测漏检查，根据氦气测漏仪显示测量的数值，判断该机械手的真空部件状况，以此来达成机械手测漏治具便于对机械手进行检测的目的。

技术领域

本实用新型涉及机械手配件技术领域，具体为一种半导体用机械手测漏治具。

背景技术

机械手在不间断运转过程中，随着机械手的磨损老化，容易产生各种故障，当机械手发生故障时，维修人员会对机械手拆解进行故障排除，Brooks MAG7机械手被拆解后，其它机械结构件处于裸露状态，维修人员容易对磨损或老化部件进行识别，其中真空部件属于精密且密封的结构，常规检查是通过肉眼方式，为了确保故障被排除，当遇到肉眼检查不出时，无论该真空结构件磨损与否，都进行新品部件更换。

在实现本实用新型的过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题没有得到解决：

(1)传统的机械手测漏治具难以对机械手进行检测，肉眼检查的准确性低，因人员的差异，容易产生误判、漏判；

(2)传统的机械手测漏治具难以和机械手进行连接，不能快速的和机械手进行连接；

(3)传统的机械手测漏治具强度不足，机械手测漏治具容易出现损坏，影响装置工作。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体用机械手测漏治具，以解决上述背景技术中提出机械手测漏治具难以对机械手进行检测、难以和机械手进行连接和强度不足的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体用机械手测漏治具，包括外壳、防磨板、通气孔、橡胶圈和连接杆，所述外壳的顶端固定连接有连接杆，且连接杆的顶端固定连接有连接块，所述连接杆的底端活动连接有橡胶圈，所述连接杆的底端设置有通气孔，所述外壳的外侧固定连接有防磨板，所述外壳的底端固定连接有连接结构，所述外壳的内部固定连接有密封层，所述外壳外壁的内部固定连接有加强结构。

优选的，所述连接结构的内部依次设置有法兰片、螺栓和固定螺丝，所述法兰片的顶端活动连接有固定螺丝，且固定螺丝延伸至法兰片的底端，所述固定螺丝的底端活动连接有螺栓。

优选的，所述固定螺丝的外侧壁上均匀设置有外螺纹，所述法兰片的内侧壁上均匀设置有与外螺纹相互配合的内螺纹，所述固定螺丝与法兰片为螺纹连接。

优选的，所述橡胶圈的底端固定连接有卡块，所述外壳的顶端设置有和卡块相对应的卡槽，所述橡胶圈和外壳构成卡合结构。

优选的，所述加强结构的内部依次设置有加强层、第一加强筋和第二加强筋，所述加强层的内部固定连接有第一加强筋，且第一加强筋在加强层的内部呈等间距排列。

优选的，所述加强层的内部固定连接有第二加强筋，且第二加强筋在加强层的内部呈等间距排列。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该半导体用机械手测漏治具不仅实现了机械手测漏治具便于对机械手进行检测的目的，实现了机械手测漏治具便于和机械手进行连接的目的，而且实现了加强机械手测漏治具结构强度的目的；

(1)通过在连接杆的底端设置有通气孔，确保将治具和机械手本体平面完全接触，并保持密闭的状态，在连接杆处对接波纹管，连接到氦气测漏仪，打开氦气测漏仪进行测漏检查，根据氦气测漏仪显示测量的数值，判断该机械手的真空部件状况，以此来达成机械手测漏治具便于对机械手进行检测的目的；