[实用新型]一种具有精密恒温控制功能的光电模块组件

权利要求书

1.一种具有精密恒温控制功能的光电模块组件，其特征是：包括陶瓷或玻璃基片(1)，光发射组件(2)，光接收组件(3)，集成电路芯片(4)，片式元器件(5)，NTC薄膜电阻(6)，光电模块组件顶层金属电极(7)，NTC薄膜电阻金属电极(8)，多层布线绝缘介质层(9)，集成TEC热电致冷器(200)；

所述集成TEC热电致冷器(200)包括：集成TEC p型半导体(201)，集成TEC n型半导体(202)，集成TEC顶层金属电极(203)，集成TEC底层金属电极(204)，集成TEC平面型负电极(205)，集成TEC平面型正电极(206)，集成TEC第一层绝缘介质隔离层(207)，集成TEC第二层绝缘介质隔离层(208)，集成TEC二氧化硅缓冲层(209)；

所述陶瓷或玻璃基片(1)的上层为所述NTC薄膜电阻(6)、多层布线绝缘介质层(9)；

所述NTC薄膜电阻(6)的两端上层为NTC薄膜电阻金属电极(8)，所述NTC薄膜电阻(6)的两端之外的中部上层为多层布线绝缘介质层(9)；所述NTC薄膜电阻金属电极(8)的上层为多层布线绝缘介质层(9)；所述NTC薄膜电阻(6)位于所述光发射组件(2)的正下方；

所述多层布线绝缘介质层(9)上层为所述光电模块组件顶层金属电极(7)，所述光电模块组件顶层金属电极(7)的上层组装有所述光发射组件(2)、所述光接收组件(3)、所述集成电路芯片(4)、片式元器件(5)；

所述陶瓷或玻璃基片(1)下层为所述集成TEC二氧化硅缓冲层(209)，所述集成TEC二氧化硅缓冲层(209)的下层为所述集成TEC顶层金属电极(203)、所述集成TEC第一层绝缘介质隔离层(207)，所述集成TEC顶层金属电极(203)的下层为所述集成TEC p型半导体(201)、所述集成TEC n型半导体(202)、集成TEC第一层绝缘介质隔离层(207)，所述集成TEC p 型半导体(201)与所述集成TEC n型半导体(202)之间被所述集成TEC第一层绝缘介质隔离层(207)隔离，所述集成TEC底层金属电极(204)上层为所述TEC p型半导体(201)、所述集成TEC n型半导体(202)、所述集成TEC第一层绝缘介质隔离层(207)；

所述集成TEC底层金属电极(204)的两端的下层为所述集成TEC平面型负电极(205)、所述集成TEC平面型正电极(206)；

所述集成TEC底层金属电极(204)的除两之外的中部下层为所述集成TEC第二层绝缘介质隔离层(208)。

2.如权利要求1所述的一种具有精密恒温控制功能的光电模块组件，其特征在于：所述集成TEC p型半导体(201)采用p型碲化铋半导体材料。

3.如权利要求2所述的一种具有精密恒温控制功能的光电模块组件，其特征在于：所述p型碲化铋半导体材料为Bi₂Te₃-Sb₂Te₃。

4.如权利要求1或2所述的一种具有精密恒温控制功能的光电模块组件，其特征在于：所述集成TEC p型半导体(201)厚度为0.2mm-0.6mm。

5.如权利要求1所述的一种具有精密恒温控制功能的光电模块组件，其特征在于：所述集成TEC n型半导体(202)采用n型碲化铋半导体材料。

6.如权利要求5所述的一种具有精密恒温控制功能的光电模块组件，其特征在于：所述n型碲化铋半导体材料为Bi₂Te₃-Bi₂Se₃。

7.如权利要求1或5所述的一种具有精密恒温控制功能的光电模块组件，其特征在于：所述集成TEC n型半导体(202)的厚度为0.2mm-0.6mm。

8.如权利要求1所述的一种具有精密恒温控制功能的光电模块组件，其特征在于：所述集成TEC顶层金属电极(203)、集成TEC底层金属电极(204)的材料为镍铬-铜-镍铬-金复合导体。