[实用新型]一种反射式无指示光栅光学测量装置有效
| 申请号： | 202020558211.8 | 申请日： | 2020-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN211783311U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 甘天才 | 申请（专利权）人： | 广东光栅数显技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/02 |
| 代理公司： | 广东腾锐律师事务所 44473 | 代理人： | 陈培华;莫锡斌 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 反射 指示 光栅 光学 测量 装置 | ||
1.一种反射式无指示光栅光学测量装置，包括光源、反射主光栅和接收器，其特征在于：
光源、接收器设置在反射主光栅的同一侧，光源产生入射光线照射到反射主光栅上形成反射光线，接收器设置在反射光线的光路上，所述反射主光栅上至少有3N+1根平行间隔排列的矩形光栅刻线，所述接收器上设有用于光电信号转换的硅光晶片，所述硅光晶片上设有4M+1块平行间隔排列的矩形光刻栅片；
所述光栅刻线的宽度、相邻两光栅刻线的栅距、光刻栅片的宽度均为W，相邻两光刻栅片的栅距为W/2，N、M均为自然数。
2.根据权利要求1所述的反射式无指示光栅光学测量装置，其特征在于：所述光刻栅片光电转换的信号为相位依次相差90°的4路正弦信号。
3.根据权利要求2所述的反射式无指示光栅光学测量装置，其特征在于：N、M为相等或不等的自然数。
4.根据权利要求2所述的反射式无指示光栅光学测量装置，其特征在于：M为小于N的自然数。
5.根据权利要求3或4所述的反射式无指示光栅光学测量装置，其特征在于：M为大于或等于2的自然数时，相隔三块光刻栅片的两光刻栅片彼此电信号并联。
6.根据权利要求5所述的反射式无指示光栅光学测量装置，其特征在于：W为2-300μm。
7.根据权利要求6所述的反射式无指示光栅光学测量装置，其特征在于：W为4、10、20、50、200μm。
8.根据权利要求7所述的反射式无指示光栅光学测量装置，其特征在于：所述光源为平行光LED灯或点光源与聚光镜的组合。
9.根据权利要求8所述的反射式无指示光栅光学测量装置，其特征在于：所述接收器上包括PCB板，所述硅光晶片封装在PCB板上。
10.根据权利要求9所述的反射式无指示光栅光学测量装置，其特征在于：反射主光栅的平行反射光线垂直或倾斜照射到光刻栅片上。
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