[实用新型]一种可自动夹紧的真空镀膜旋转基片台

权利要求书

1.一种可自动夹紧的真空镀膜旋转基片台，其特征在于：该真空镀膜旋转基片台包括夹紧法兰(1)、样品台(2)、水冷法兰(3)、密封法兰(4)、升降法兰(5)、电机支架(6)、主动同步带轮(7)、从动同步带轮(8)、弹簧(9)、电机(10)、磁流体组件、第一导杆(12)、真空室顶板(13)、第二导杆(14)、升降轴组件(15)；其中，所述夹紧法兰的两端分别固定设置在相互平行的第一导杆、第二导杆的底部；所述第一导杆和第二导杆自上而下依次设置有升降法兰、密封法兰和水冷法兰；所述样品台放置在所述夹紧法兰与水冷法兰之间；所述水冷法兰安装在密封法兰上，所述密封法兰与磁流体组件连接；所述弹簧套设在第一导杆、第二导杆上，并且位于所述密封法兰和升降法兰之间；所述主动同步带轮安装在电机上，所述电机通过电机支架固定在真空室顶板上，所述磁流体组件与真空室顶板固定，所述从动同步带轮固定在磁流体组件上；所述主动同步带轮与从动同步带轮传动连接；所述升降轴组件能够抵压或远离升降法兰，在抵压升降法兰时能够使得夹紧法兰与水冷法兰分离；在远离升降法兰时能够在弹簧的作用下使得夹紧法兰带动样品台上升并与水冷法兰相贴合。

2.根据权利要求1所述的一种可自动夹紧的真空镀膜旋转基片台，其特征在于：所述升降轴组件包括直线气缸(15.1)、气缸支板(15.2)、连接板(15.3)、定位套(15.4)、锁母(15.5)、密封套(15.6)、垫片(15.7)、骨架油封(15.8)、升降轴(15.9)、密封压盖(15.10)；所述升降轴组件安装在真空室顶板上面，所述直线气缸控制升降轴上下移动；所述直线气缸安装在气缸支板上侧，所述气缸支板依次通过锁母、垫片固定在密封套上面；所述升降轴通过连接板与直线气缸连接；所述升降轴位于密封套内部，在升降轴的外周面套设有定位套和骨架油封，所述骨架油封与密封压盖相连接；所述升降轴能够抵接或者远离所述升降法兰。

3.根据权利要求1-2任一项所述的一种可自动夹紧的真空镀膜旋转基片台，其特征在于：磁流体组件包括导磁回转轴(11.1)、轴承(11.2)、磁铁(11.3)、磁流体(11.4)、左轴承端盖(11.5)、右轴承端盖(11.6)、外壳(11.7)；所述导磁回转轴通过轴承固定，磁铁以及轴承固定在外壳内侧，所述左轴承端盖、右轴承端盖设置在外壳的左右两端，并且左轴承端盖、右轴承端盖上设置有供导磁回转轴穿过的轴孔。