[实用新型]一种晶圆测试台

权利要求书

1.一种晶圆测试台，其特征在于，包括底板(1)，所述底板(1)的顶端依次设置有显微镜组件(2)、晶圆放置台(3)及六轴机械臂(4)，且所述晶圆放置台(3)位于所述底板(1)的中心位置，所述显微镜组件(2)位于所述晶圆放置台(3)的一侧，所述六轴机械臂(4)位于所述底板(1)的一端，且所述显微镜组件(2)与所述六轴机械臂(4)相垂直，所述显微镜组件(2)的镜头位于所述晶圆放置台(3)的上方，所述六轴机械臂(4)远离所述底板(1)的一端设置有夹持机构(5)，所述夹持机构(5)底部夹持有探针(6)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆测试台，其特征在于，所述晶圆放置台(3)包括设置在所述底板(1)顶端的固定板(312)，所述固定板(312)的上方设置有安装板(306)，所述固定板(312)的顶端与安装板(306)的底端分别对应设置有若干U形固定架(301)，所述U形固定架(301)内侧设置有转动框(302)，位于同一竖直方向的两个所述转动框(302)通过转动杆(303)连接，所述固定板(312)顶端的两个所述转动框(302)的一侧分别均设置有电机(304)，且所述电机(304)的输出轴与所述转动框(302)连接，所述安装板(306)的中心位置设置有开孔(311)，所述安装板(306)两侧均设置有套筒(307)，所述套筒(307)内均穿插设置有伸缩杆(308)，所述伸缩杆(308)远离所述电机(304)的一端与载板(310)连接，所述固定板(312)的中间位置设置有气缸(305)，所述气缸(305)与所述转动框(302)连接，所述气缸(305)内部穿插设置有推动杆(309)，所述推动杆(309)的顶端贯穿所述开孔(311)并通过所述转动框(302)及所述U形固定架(301)与所述载板(310)底端连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆测试台，其特征在于，所述夹持机构(5)包括底盘(501)，所述底盘(501)内部开设有空腔，所述底盘(501)中间位置设置有中心孔(502)，所述空腔内设置有卡盘体(503)，所述空腔内且位于所述卡盘体(503)一侧设置有锥齿轮(505)远离所述中心孔(502)的一端开设有扳手孔(506)，且所述底盘(501)的侧壁开设有与所述扳手孔(506)相配合的通孔，所述底盘(501)的一侧开设有若干滑动槽(509)，所述滑动槽(509)的内部设置有与所述卡盘体(503)相啮合的卡爪(508)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆测试台，其特征在于，所述卡盘体(503)远离所述锥齿轮(505)的一侧设置有与所述卡爪(508)相啮合的螺旋槽(507)，所述卡盘体(503)远离所述卡爪(508)的一侧环绕设置有若干与所述锥齿轮(505)相啮合的轮齿(504)。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆测试台，其特征在于，所述探针(6)包括套管(601)和针头(602)，且所述套管(601)位于若干所述卡爪(508)内侧，所述套管(601)的底部穿插设置有所述针头(602)，所述针头(602)的顶端且位于所述套管(601)的内部设置有磁块一(603)，所述磁块一(603)两侧分别均设置有滑块(604)，所述针头(602)上且位于所述磁块一(603)与所述套管(601)底部之间安装有弹簧(605)，所述套管(601)内壁底部两侧均设置有与所述滑块(604)相配合的滑轨(606)，所述套管(601)内部固定连接有磁块二(607)，且所述磁块二(607)位于所述磁块一(603)上方。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆测试台，其特征在于，所述磁块一(603)与所述磁块二(607)相对面的磁性相同。