[实用新型]一种3D集成式Micro LED有效
申请号: | 202020559390.7 | 申请日: | 2020-04-15 |
公开(公告)号: | CN211789073U | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 仇美懿;林耀辉;庄家铭 | 申请(专利权)人: | 佛山市国星半导体技术有限公司 |
主分类号: | H01L33/24 | 分类号: | H01L33/24;H01L33/32;H01L33/20;H01L33/02;H01L33/00;H01L27/15 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 胡枫;李素兰 |
地址: | 528200 广东省佛山市南海区狮*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 集成 micro led | ||
本实用新型公开了一种3D集成式Micro LED,包括导电衬底,若干个设于导电衬底正面上的基底层,设置在基底层正面上并填充在基底层之间的阻挡层,所述阻挡层将基底层隔绝,设置在基底层上发光柱体,所述发光柱体包括设于基底层上的第一半导体层、将第一半导体层的包裹的有源层、将有源层包裹的第二半导体层,覆盖在发光柱体和阻挡层上的透明导电层,所述透明导电层将多个发光柱体形成导电连接,设于导电衬底背面的第一电极,设于透明导电层上的第二电极,所述发光柱体实现360度出光,且其发光角度为180度。
技术领域
本实用新型涉及二极管技术领域,尤其涉及一种3D集成式Micro LED。
背景技术
微型发光二极管(Micro Light-Emitting Diode,Micro LED)是一种尺寸为微米级的发光二极管,由于Micro LED的尺寸较小,因此其可以作为显示面板上的像素,采用Micro LED制备得到的显示面板可称为Micro LED显示面板。与有机发光二极管(OrganicLight-Emitting Diode,OLED)显示面板相比,Micro LED显示面板的使用寿命和可视角度均优于OLED显示面板,因此Micro LED显示技术成为目前显示技术领域的研究重点。
参见图1,现有的Micro LED芯片包括衬底10、设于衬底10上的第一半导体层20、设于第一半导体成20上的有源层30和第一电极51、设于有源层30上的第二半导体层40、以及设于第二半导体层40上的第二电极52。现有的Micro LED芯片由于受外层长晶的限制,发光角一般都在110~130度之间,若要增加芯片的发光角度,则需要进行封装实现二次光学出光,这样不仅增加芯片的成本,由于封装后芯片体积增大,因此也难以形成体积小、像素高的屏幕。
此外,现有Micro LED芯片的有源层30只设置在第一半导体层20的平面上,为2D发光结构,属于平面发光。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题在于,提供一种3D集成式Micro LED,可实现360度出光,且其发光角度为180度。
本实用新型所要解决的技术问题在于,提供一种3D集成式Micro LED,体积小、像素高。
为了解决上述技术问题,本实用新型提供了一种3D集成式Micro LED,包括:
导电衬底,
若干个设于导电衬底正面上的基底层,
设置在基底层正面上并填充在基底层之间的阻挡层,所述阻挡层将基底层隔绝,
设置在基底层上发光柱体,所述发光柱体包括设于基底层上的第一半导体层、将第一半导体层的包裹的有源层、将有源层包裹的第二半导体层,
覆盖在发光柱体和阻挡层上的透明导电层,所述透明导电层将多个发光柱体形成导电连接,
设于导电衬底背面的第一电极,设于透明导电层上的第二电极,
所述发光柱体实现360度出光,且其发光角度为180度。
作为上述方案的改进,所述发光柱体为柱状结构,所述发光柱体之间的间隔为3~50μm。
作为上述方案的改进,所述基底层包括AlN层、AlGaN层和U-GaN层,所述AlN层设于导电衬底上,所述AlGaN层设于AlN层和U-GaN层之间。
作为上述方案的改进,所述的阻挡层的高度大于等于基底层的高度,所述阻挡层由不透明的绝缘材料制成。
作为上述方案的改进,所述基底层的厚度为1.5~2μm,所述阻挡层的厚度为2~3μm,所述阻挡层的材料为氮化硅或氮化铟。
作为上述方案的改进,所述导电衬底为硅衬底,厚度为80~150μm;
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